DISPOSITIVO DE SOPORTE Y TRANSPORTE PARA UNA OBLEA SEMICONDUCTORA.
PARA EL TRATAMIENTO DE CUERPOS EN FORMA DE DISCO, ESPECIALMENTE DE DISCOS SEMICONDUCTORES EN UNA INSTALACION DE VACIO,
ESTOS DEBEN TRANSPORTAR Y DEPOSITARSE ENTRE LAS ESTACIONES. UN DISCO (17) SE APOYA EN SU BORDE CON DOS BRAZOS DE SOPORTE (21) CON DOS DEDOS CADA UNO (22) Y SUPERFICIE DE APOYO EN LOS EXTREMOS DE LOS DEDOS EN CUATRO PARTES REPARTIDAS POR EL PERIMETRO DEL DISCO (17). CON EL FIN DE DISMINUIR O AGRANDECER LA DISTANCIA ENTRE LOS BRAZOS DE SOPORTE (21) AL RECOGER O LIBERAR EL DISCO, AMBOS BRAZOS CON FIJADOS EN UNA UNIDAD DE CILINDRO/EMBOLO (24). ALLI SE MUEVE EL CILINDRO (27) DE FORMA RELATIVA AL EMBOLO FIJO (25). AMBOS EXTREMOS DEL EMBOLO SON FIJADOS, UNO EN FRENTE DEL OTRO, EN UN EJE DE GIRO (26) QUE VA VERTICALMENTE A LOS EJES DE LOS CILINDROS CON LOS QUE SE PUEDEN GIRAR LAS DOS UNIDADES DE CILINDRO/EMBOLO (24) CON LOS BRAZOS DE SOPORTE (21) DE UNA ESTACION A LA SIGUIENTE DENTRO DE LA INSTALACION DE VACIO. LAS DOS UNIDADES DE CILINDRO/EMBOLO (24) SE ACTIVAN MEDIANTE UN MEDIO DE PRESION QUE VA POR CONDUCTOS (31) QUE PASAN POR EL EJE DE GIRO HUECO (26) Y POR LOS EMBOLOS HUECOS PARA ABRIR LOS BRAZOS DE SOPORTE (21) EN CONTRA DEL EFECTO DE UN RESORTE DE PRESION (34) QUE SE APOYA DENTRO DEL CILINDRO (27) EN ESTE Y EN EL EMBOLO (29) PARA EL MOVIMIENTO CONTRARIO DE ELEVACION.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT.
Nacionalidad solicitante: Liechtensein.
Dirección: , FL-9496 BALZERS.
Inventor/es: WAGNER, RUDOLF.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 27 de Octubre de 1993.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01L21/00 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas.
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