UN PROCEDIMIENTO PARA DEPOSITAR UN REVESTIMIENTO DE UN NITRURO DE METAL DE TRANSICION SELECCIONADO SOBRE UN SUBSTRATO.
PROCEDIMIENTO PARA DEPOSITAR UN REVESTIMIENTO DE UN NITRURO DE METAL DE TRANSICION SELECCIONADO,
SOBRE UN SUSTRATO. COMPRENDE: A) SITUAR AL SUSTRATO EN UNA CAMARA DE DEPOSICION; B) MEZCLAR A UN COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION DE FORMULA (MRX) Y EN ESTADO LIQUIDO CON UN GAS PORTADOR COMO UNA MEZCLA DE HIDROGENO Y NITROGENO ENTRE C20J Y 60JC EN UN BORBOTEADOR; C) TRANSPORTAR A LA MEZCLA DE COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION Y GAS PORTADOR HASTA LA CAMARA DE DEPOSICION A TRAVES DE UNA BOMBA DE VACIO; Y D) DEPOSITAR AL COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION SOBRE EL SUSTRATO, ENTRE 400JC Y 800JC Y A UNA PRESION ENTRE 0,2 Y 100 TORR. SIENDO: R, AZIDA, HALOGENO Y -NRKR2; R1 Y R2, HIDROGENO, ALQUILO INFERIOR, CICLOPENTADIENILO Y OTROS; M, METAL DE TRANSICION SELECCIONADO ENTRE TI, NB, ZR, HF, MO, W, CR Y V; Y X UN NUMERO ENTERO ENTRE 2 O 6. EL SUSTRATO SE SELECCIONA ENTRE ARSENIURO DE GALIO Y DE SILICIO Y EL COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION SE SELECCIONA ENTRE, TETRAQUIS (DIMETILAMINO)TITANIO; TETRAQUIS(DIETILAMINO)TITANIO Y TETRAQUIS(DIETILAMINO)CIRCONIO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: MORTON THIOKOL, INC..
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 110 NORTH WACKER DRIVE, CHICAGO, ILLINOIS 60606.
Fecha de Solicitud: 4 de Septiembre de 1985.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 14 de Noviembre de 1985.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C16/34 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › Nitruros.
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