HORNO PARA PROCESOS CONTINUOS DE DIFUSION DE ALTO RENDIMIENTO CON VARIAS FUENTES DE DIFUSION.
SE DESCRIBE UN APARATO ABIERTO (10) PARA REALIZAR EL PROCESAMIENTO DE SUSTRATOS PLANARES DELGADOS DE SEMICONDUCTOR,
PARTICULARMENTE PARA EL PROCESAMIENTO DE CELULAS SOLARES. EL APARATO (10) INCLUYE UNA PRIMERA ZONA (11) PARA DESHIDRATAR Y FUNDIR LOS COMPONENTES ORGANICOS DE LAS FUENTES DOPANTES SOLIDAS O LIQUIDAS APLICADAS PREVIAMENTE EN LOS SUSTRATOS. LA ZONA (11) ESTA AISLADA DE LAS ZONAS RESTANTES (13-17) DEL APARATO (10) MEDIANTE UNA SECCION DE AISLAMIENTO (12), PARA EVITAR LA CONTAMINACION CRUZADA ENTRE LA ZONA FUNDIDA (11) Y LAS RESTANTES ZONAS DE PROCESAMIENTO (13-17). TODAS LAS ZONAS (11-17) DEL APARATO (10) PUEDEN FORMARSE A PARTIR DE UN TUBO DE CUARZO (50), ALREDEDOR DEL QUE SE COLOCAN CALEFACTORES PARA ELEVAR SU TEMPERATURA INTERNA. CADA ZONA (11-17) PUEDE PURGARSE CON UNA MEZCLA DE GASES ADECUADA, POR EJEMPLO, CON GASES INERTES COMO EL ARGON, ASI COMO CON OXIGENO Y NITROGENO. LAS ZONAS (13-17) TAMBIEN PUEDEN DISPONER DE DOPANTES GASEOSOS, TALES COMO EL POCL 3, Y LA PRESENTE INVENCION INCLUYE LA DIFUSION SECUENCIAL DE MAS DE UN DOPANTE EN LOS SUSTRATOS. ALGUNAS DE LAS ZONAS (13-17) SE PUEDEN UTILIZAR PARA INTRODUCIR LOS DOPANTES ALTERNATIVAMENTE, PARA OTROS PROCESOS, COMO POR EJEMPLO LA OXIDACION. LA PRESENTE INVENCION INCLUYE UN METODO DE FUNCIONAMIENTO DEL APARATO Y SU UTILIZACION EN EL PROCESAMIENTO DE CELULAS SOLARES.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: IMEC VZW.
Nacionalidad solicitante: Bélgica.
Dirección: KAPELDREEF 75,B-3001 LEUVEN HEVERLEE.
Inventor/es: HORZEL, JORG, NIJS, JOHAN, SZUFCIK, JOZEF.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 18 de Febrero de 2004.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01L21/00 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas.
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