FABRICACION DE UN SEMICONDUCTOR.

LA INVENCION SE REFIERE A UN SISTEMA PARA BOMBEAR HACIA ABAJO EL GAS A PRESION QUE SE ENCUENTRA, TRAS UNA INTERRUPCION, EN LA TUBERIA UTILIZA PARA PROPORCIONAR UNA CORRIENTE DE GAS PARA CALENTAR/REFRIGERAR LA RODAJA LATERAL POSTERIOR DURANTE LA ELABORACION DE LA RODAJA SEMICONDUCTORA

(20). EL SISTEMA INCLUYE UNA TUBERIA SECUNDARIA QUE SE PUEDE SELECCIONAR CON UNA VALVULA (70) PARA IGUALAR, EN CASO DE QUE OCURRA UNA INTERRUPCION, CUALQUIER DIFERENCIA DE PRESIONES QUE PUEDA DARSE EN LA TUBERIA DE GAS PRINCIPAL (50) ENTRE LA CAMARA DE PROCESO (12) Y EL ELEMENTO DE CALENTAMIENTO DE LA PARTE LATERAL POSTERIOR (30). LA TUBERIA SECUNDARIA SE EXTIENDE DESDE UNA ABERTURA (76) QUE HAY EN LA PARED DE LA CAMARA DE PROCESO HASTA UNA JUNTA EN T (72) INSTALADA EN LA TUBERIA PRINCIPAL JUSTO CORRIENTE ABAJO DE LA VALVULA DE SEPARACION FINAL (42) QUE HAY EN LA TUBERIA PRINCIPAL. SE INSTALA UNA VALVULA (78) EN LA TUBERIA SECUNDARIA Y SE ENCLAVA OPERATIVAMENTE (80), DE MANERA INVERSA, CON LA VALVULA DE SEPARACION DE LA TUBERIA PRINCIPAL TAL QUE CUANDO UNA VALVULA SE ABRE, LA OTRA SE CIERRA Y VICEVERSA.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: APPLIED MATERIALS, INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 3050 BOWERS AVENUE,SANTA CLARA CALIFORNIA 95054-3.

Inventor/es: KRUEGER, GORDON P.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 22 de Mayo de 1996.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > H01L21/00 (Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/54 (Control o regulación de procesos de revestimiento (control o regulación en general G05))
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