(29/05/2019) Procedimiento de fabricación de un sensor de presión que comprende las etapas siguientes: ensamblar (E1) un sustrato de soporte con una membrana deformable en la que se han depositado unas galgas extensométricas , comprendiendo la membrana deformable una zona adelgazada (20b) en su centro, estando dispuesto el sustrato de soporte por encima de la membrana deformable , comprendiendo el sustrato de soporte una superficie superior , una superficie inferior en contacto con la membrana deformable , comprendiendo además el sustrato de soporte unos rebajes laterales dispuestos por encima y frente a las galgas extensométricas y un rebaje central dispuesto por encima de la zona adelgazada (20b) de la membrana , esto para obtener una estructura micromecánica;…

(14/03/2018) Un micro-reflectrón para espectrómetro de masas de tiempo de vuelo que comprende un sustrato e, integrados al volumen del sustrato, medios de aplicación de un gradiente de potencial en un volumen adaptado para constituir una zona de vuelo de los iones , caracterizado por que el sustrato está formado del ensamblaje de dos obleas en una al menos de las cuales un canal está formado por grabado de manera que se conforme la zona de vuelo en un tubo, dichos medios de aplicación comprenden al menos dos electrodos de polarización extendiéndose a lo largo del tubo y el tubo tiene una pared de al menos un material resistivo adaptado para ser polarizado entre estos electrodos de manera que genere un gradiente continuo de potencial asegurando a su vez la función del reflectrón, siendo obtenidos esta zona de vuelo, estos…

(21/09/2015) Procedimiento de medición y registro de aceleraciones con sensores de bajo coste para su aplicación en sismología, y equipo para llevar a cabo dicho procedimiento que contempla la utilización de varios sensores acelerómetros MEMS de bajo coste en una tarjeta electrónica y técnicas de procesamiento digital de señales (DSP) a través de un ordenador al que está conectada dicha tarjeta, enviando los datos a un centro de recepción de datos , comprendiendo dichas técnicas: utilización de varios acelerómetros MEMS simultáneos; realización de sobremuestreo en los sensores MEMS con filtrado FIR; inclusión de datos de hora GPS en cada muestra no sincronizada con el GPS, con un algoritmo de decimación adaptable. El equipo comprende un ordenador con microprocesador programable, tarjeta electrónica, con varios sensores acelerómetros MEMS,…

(30/05/2011) Chip que comprende un MEMS dispuesto en un circuito integrado y procedimiento de fabricación correspondiente. Clip que comprende un circuito integrado, con: A) unas capas que configuran unos elementos eléctricos y/o electrónicos sobre un substrato de material semiconductor, B) una estructura de capas de interconexión, con una pluralidad de capas de material conductor separadas por unas capas de material dieléctrico , C) por lo menos un MEMS dispuesto en la estructura de capas de interconexión. El MEMS comprende un espacio hueco con una parte del mismo dispuesta debajo de una lámina de material conductor perteneciente a una de las capas de material conductor. El procedimiento de fabricación comprende una etapa de interconexión, en la que se genera la estructura de capas de interconexión, y un ataque posterior con HF gaseoso durante el cual se genera…