Dispositivo óptico de medición de la posición.

Dispositivo óptico de medición de la posición para la detección de la posición de dos objetos móviles relativamente entre sí en al menos una dirección de medición (x) con

- una estructura de medición (10),

que está conectada con uno de los dos objetos y que presenta una división incremental (12) que se extiende en la dirección de medición (x) así como al menos una marca de referencia (11) en una posición de referencia (xREF), en la que la marca de referencia (11) comprende dos campos parciales (11A, 11B) de la marca de referencia dispuestos en simetría de espejo a un eje de simetría (RS) de la marca de referencia, que están constituidos, respectivamente, por una estructura de rejilla, que se extiende en la dirección de medición (x), con un periodo de división variable localmente,

- una unidad de exploración (20), que está conectada con el otro de los dos objetos y que presenta una fuente luminosa (21) que irradia de forma divergente, una o varias rejillas (23) así como un dispositivo de detección de la señal de referencia (22; 22'; 122), en el que

- el dispositivo de detección de la señal de referencia (22, 22'; 122) presenta al menos cuatro matrices de detectores (22.1 - 22.4; 22.1' - 22.4'; 122.1 - 122.4), respectivamente, con varios elementos de detección (22a - 22d; 22a' -22d'; 122a -122d) y las matrices de detectores (22.1 -22.4; 22.1' - 22.4; 122.1 - 122.4), están configuradas y dispuestas de tal forma que

- a partir de la exploración de la marca de referencia (11) a través del dispositivo de detección (22; 22', 122) de la señal de referencia resulta una primera y una segunda parejas de señales parciales de referencia (S1_T, S1_GT, S2_T, S2_GT), respectivamente, con curva de la señal a contrafase y la primera pareja de señales parciales de referencia (S1_T, S1_GT) está desplazada a lo largo de la dirección de medición (x) frente a la segunda pareja de señales parciales de referencia (S2_T, S2_GT) en un importe de desplazamiento.

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E12166338.

Solicitante: DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: DR. JOHANNES-HEIDENHAIN-STRASSE 5 83301 TRAUNREUT ALEMANIA.

Inventor/es: HERMANN, MICHAEL.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • G01D5/36 FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01D MEDIDAS NO ESPECIALMENTE ADAPTADAS A UNA VARIABLE PARTICULAR; DISPOSICIONES PARA LA MEDIDA DE DOS O MAS VARIABLES NO CUBIERTAS POR OTRA UNICA SUBCLASE; APARATOS CONTADORES DE TARIFA; DISPOSICIONES PARA TRANSFERENCIA O TRANSDUCTORES NO ESPECIALMENTE ADAPTADAS A UNA VARIABLE PARTICULAR; MEDIDAS O ENSAYOS NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR.G01D 5/00 Medios mecánicos para la transferencia de la magnitud de salida de un elemento sensor; Medios para la conversión de la magnitud de salida de un elemento sensor en otra variable, en los que la forma o naturaleza del elemento sensor no determinan los medios de conversión; Transductores no especialmente adaptados a una variable específica (G01D 3/00 tiene prioridad; especialmente adaptados para aparatos que dan resultados distintos al valor instantáneo de una variable G01D 1/00). › Formación de pulsos de luz.
  • G01D5/38 G01D 5/00 […] › mediante rejillas de difracción.

PDF original: ES-2560813_T3.pdf

 

Dispositivo óptico de medición de la posición.

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