Método y dispositivo para medir el grosor de capas delgadas en superficies de medición extensas.

Método para medir el grosor de capas delgadas en superficies de medición extensas (12),

donde al menos una sonda de medición (28) que presenta al menos un elemento sensor (29) y al menos un casquete esférico (31) asociado al elemento sensor (29), es colocada sobre la superficie de medición (12) para obtener un valor de medición, caracterizado porque

- la superficie de medición extensa (12) está subdividida en superficies parciales individuales (14),

- para cada superficie parcial (14) que debe ser revisada se determina una matriz de puntos de medición (16),

- un dispositivo (21) que soporta al menos una sonda de medición (28), el cual aloja un cuerpo de rotación (22) con al menos una superficie de rodadura (23) y al menos una sonda de medición (28), se coloca sobre la superficie de medición (12), rueda a lo largo de al menos una línea (17) de la matriz de la superficie parcial (14), y en puntos de medición equidistantes (16) se registran valores de medición, y

- los valores de medición son registrados sucesivamente para todas las líneas (17) de la matriz en la superficie parcial (14) y son evaluados para esa superficie parcial (14).

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E11162547.

Solicitante: Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: Industriestrasse 21 71069 Sindelfingen ALEMANIA.

Inventor/es: FISCHER, HELMUT.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • G01B7/06 SECCION G — FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS.G01B 7/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios eléctricos o magnéticos. › para la medida del espesor.

PDF original: ES-2607222_T3.pdf

 

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