DISPOSICIÓN PARA LA ALIMENTACIÓN DE CARGAS VARIABLES.

Una disposición de circuito (E) para la alimentación de cargas variables (R1,

R2, R3), que se pueden conectar en la primera disposición de circuito (E), - desde una primera fuente de corriente o de tensión (MV) en un primer estado de la primera disposición de circuito, y - desde una segunda fuente de corriente o de tensión, en particular de una segunda disposición de circuito (Z) en un segundo estado de la primera disposición de circuito (E), con las siguientes características: - la primera disposición de circuito (E) presenta una primera conexión (1) y una segunda conexión (2) para la conexión con la primera fuente de corriente o de tensión (MV) y una tercera conexión (3), al menos una cuarta conexión (4) y al menos una quinta conexión (5) para la conexión con una segunda fuente de corriente o de tensión (Z); - la primera disposición de circuito (E) presenta al menos una octava conexión (8) para la conexión con dos (R2, R3) de las cargas (R1, R2, R3); - la primera disposición de circuito (E) presenta una séptima conexión (7) y al menos una novena conexión (9) para la conexión con las cargas (R1, R2, R3),; - la segunda conexión (2) se encuentra en un potencial de referencia; - las novenas conexiones (9) están conectadas en cada caso con una de las quintas conexiones (5); - la primera disposición de circuito (E) presenta medios de conmutación (10, 20, 31, 33) controlables para la conmutación entre el primer estado y el segundo estado; - en el primer estado y en el segundo estado, la séptima conexión (7) está conectada directamente con la tercera conexión (3); - en el primer estado, la octava conexión (8) para la conexión con las dos cargas (R2, R3) está conectada con la primera conexión (1) y la tercera conexión (3) y la quinta conexión (5) están conectadas con el potencial de referencia; - en el segundo estado, la octava conexión (8) está conectada con la cuarta conexión

La invención se refiere a una primera disposición de circuito para la alimentación de cargas variables que se pueden conectar en la primera disposición de circuito así como a una disposición para la alimentación de cargas variables a partir de la primera disposición de circuito y de una segunda disposición de circuito. 5

Se conoce a partir del documento con el número de publicación DE 203 18 061 U1 una disposición para la alimentación de un número impar de cargas conectadas paralelas o en serie con energía eléctrica. Esta disposición se puede accionar en dos estados de funcionamiento diferentes. En un estado de funcionamiento inicial, las cargas conectadas en la disposición son accionadas en conexión en paralelo, mientras que en un estado de funcionamiento constante las cargas son alimentadas con energía eléctrica conectadas en serie. Una disposición de este tipo se puede 10 emplear, por ejemplo, para accionar de esta manera una instalación electromecánica para procesos de deposición. Durante un proceso de deposición electroquímico se modifican los valores de la resistencia de las cargas a través del material (silicio) que debe depositarse, que se precipita en las cargas. La resistencia de las cargas se reduce de esta manera, con lo que en el caso de una potencia eléctrica constante de las cargas se incrementa la corriente y, por el contrario, se reduce la tensión. Si la corriente se eleva hasta una medida determinada, se conecta la disposición al 15 estado de funcionamiento constante, de manera que las cargas son accionadas en serie. A través de la conexión en serie de las cargas resulta entonces una resistencia total más elevada en las conexiones de la disposición. De esta manera, con la misma carga son posibles corrientes más reducidas.

En general, la disposición publicada en el documento se ha revelado útil. Sin embargo, se ha mostrado que las cargas deben presentar una temperatura determinada para que el proceso de deposición electroquímica pueda 20 comenzar durante el estado de funcionamiento inicial. Las cargas son precalentadas hasta ahora con radiadores de calefacción u otros medios auxiliar para llevarlas a la temperatura necesaria para el estado de funcionamiento inicial. Tal calentamiento previo de las cargas no es deseable debido al peligro de contaminación.

El documento con el número de publicación US 6.285.178 B1 publica una disposición de circuito, que utiliza en un estado de funcionamiento inicial una fuente con alta capacidad de potencia y en un estado de funcionamiento 25 duradero una fuente con capacidad de potencia reducida.

Aquí se aplica la presente invención.

La invención tiene el cometido de proponer un primera disposición de circuito y una disposición con la primera disposición de circuito, con la que es posible, antes del estado de funcionamiento inicial de la disposición conocida a partir del estado de la técnica, un calentamiento de las cargas que se pueden conectar en la disposición. 30

Para la solución de este cometido, se propone una primera disposición de circuito de acuerdo con la reivindicación 1 y los desarrollos de esta primera disposición de circuito se indican en las reivindicaciones 2 a 6. El cometido se soluciona, además, por medio de una disposición con tal primera disposición de circuito, que se indica en la reivindicación 7. Las formas de realización concretas y preferidas de esta disposición se indican en las reivindicaciones dependientes de ella. De acuerdo con las soluciones de la invención, un primer estado de funcionamiento inicial se 35 configura antes del estado de funcionamiento inicial empelado hasta ahora, que se designa a continuación como segundo estado de funcionamiento inicial.

La disposición de acuerdo con la invención de la reivindicación 7 presenta, según la invención, una primera disposición de circuito y una segunda disposición de circuito, en la que esta segunda disposición de circuito sirve como una segunda fuente de corriente o de tensión. 40

La disposición se puede accionar en tres estados. A saber, en el primer estado de funcionamiento inicial, en el que la primera disposición de circuito está en un primer estado y las cargas pueden ser alimentadas desde una primera fuente de corriente o de tensión. Además, la disposición se puede accionar en un segundo estado de funcionamiento inicial, en el que la primera disposición de circuito está en un segundo estado y las cargas pueden ser Alimentadas en paralelo entre sí a partir de la segunda disposición de circuito. El tercer estado, en el que se puede accionar la 45 disposición, es entonces el estado de funcionamiento constante, en el que la primera disposición de circuito está igualmente en el segundo estado y las cargas pueden ser alimentadas conectadas en serie desde la segunda disposición de circuito. La segunda disposición de circuito se lleva a tal fin a un segundo estado. Entre el primer estado de funcionamiento inicial y el segundo estado de funcionamiento inicial se puede conmutar a través de medios de conmutación de la primera disposición y entre el segundo estado de funcionamiento inicial y el estado de 50 funcionamiento constante a través de medios de conmutación de la segunda disposición de conmutación.

Como segunda disposición de circuito se puede utilizar, tomada en principio, una disposición de circuito, como se conoce a partir de la publicación ya mencionada.

Una primera disposición de circuito está configurada de tal forma que las cargas o al menos parte de las cargas se pueden conectar en le primera disposición de circuito. Las cargas pueden ser alimentadas entonces a partir de una 55 primera fuente de corriente o de tensión en un primer estado de la primera disposición de circuito.

La primera disposición de circuito presenta una primera conexión y una segunda conexión para la conexión con la primera fuente de corriente o de tensión y una tercera conexión, al menos una cuarta conexión y al menos una quinta conexión para la conexión con una segunda fuente de corriente o de tensión.

La primera disposición de circuito puede estar configurada de tal forma que todas las cargas se pueden conectar en la primera disposición de circuito y porque las cargas pueden ser alimentadas desde la segunda fuente de corriente y 5 de tensión, pudiendo tratarse en este caso en particular de la segunda disposición de circuito, en un segundo estado de la primera disposición de circuito a través de la primera disposición de circuito.

La primera disposición de circuito presenta, además, al menos una conexión para la conexión con dos cargas, que se designa a continuación como octava conexión. La primera disposición de circuito presenta, además de la octava conexión, una séptima conexión y al menos una novena conexión para la conexión con las cargas. La segunda 10 conexión se encuentra en un potencial de referencia. Las novenas conexiones están conectadas en cada caso con una quinta conexión.

La primera disposición de circuito presenta, además, medios de conmutación controlables para la conmutación entre el primer estado y un segundo estado.

La séptima conexión está conectada en el primer estado y en el segundo estado directamente con la tercera 15 conexión. Es decir, que en la conexión entre la séptima conexión y la tercera conexión no está previsto ningún medio de conmutación.

En el primer estado, la octava conexión está conectada para la conexión con las dos cargas a través de uno de los medios de conmutación controlables con la primera conexión y la tercera conexión y la quinta conexión están conectadas a través de uno de los medios de conmutación controlables respectivos con el potencial de referencia. En el 20 segundo estado, la octava conexión está conectada entonces con la cuarta conexión a través de otro medio de conmutación controlable.

Por último, los medios de conmutación controlables conectan de manera ventajosa en el primer estado de la primera disposición de circuito la séptima conexión y las novenas conexiones, en las que están conectadas las cargas, con un potencial de referencia y las octavas conexiones, en las que se pueden conectar las cargas, están conectadas 25 con la primera conexión, en la que se puede conectar la primera fuente de corriente o de tensión.

Los medios de conmutación controlables de una primera disposición de circuito pueden conectar en el segundo estado de la primera disposición de circuito las octavas conexiones con una... [Seguir leyendo]

1. Una disposición de circuito (E) para la alimentación de cargas variables (R1, R2, R3), que se pueden conectar en la primera disposición de circuito (E),

- desde una primera fuente de corriente o de tensión (MV) en un primer estado de la primera disposición de circuito, y 5

- desde una segunda fuente de corriente o de tensión, en particular de una segunda disposición de circuito (Z) en un segundo estado de la primera disposición de circuito (E),

con las siguientes características:

- la primera disposición de circuito (E) presenta una primera conexión (1) y una segunda conexión (2) para la conexión con la primera fuente de corriente o de tensión (MV) y una tercera conexión (3), al menos una cuarta 10 conexión (4) y al menos una quinta conexión (5) para la conexión con una segunda fuente de corriente o de tensión (Z);

- la primera disposición de circuito (E) presenta al menos una octava conexión (8) para la conexión con dos (R2, R3) de las cargas (R1, R2, R3);

- la primera disposición de circuito (E) presenta una séptima conexión (7) y al menos una novena conexión (9) 15 para la conexión con las cargas (R1, R2, R3),;

- la segunda conexión (2) se encuentra en un potencial de referencia;

- las novenas conexiones (9) están conectadas en cada caso con una de las quintas conexiones (5);

- la primera disposición de circuito (E) presenta medios de conmutación (10, 20, 31, 33) controlables para la conmutación entre el primer estado y el segundo estado; 20

- en el primer estado y en el segundo estado, la séptima conexión (7) está conectada directamente con la tercera conexión (3);

- en el primer estado, la octava conexión (8) para la conexión con las dos cargas (R2, R3) está conectada con la primera conexión (1) y la tercera conexión (3) y la quinta conexión (5) están conectadas con el potencial de referencia; 25

- en el segundo estado, la octava conexión (8) está conectada con la cuarta conexión.

2. Primera disposición de circuito de acuerdo con la reivindicación 1, caracterizada porque en el primer estado, los medios de conmutación controlables conectan la séptima conexión (7) y las novenas conexiones (9) con el potencial de referencia.

3. Primera disposición de circuito de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 a 2, caracterizada porque la primera 30 disposición de circuito (E) presenta una sexta conexión (6) y una décima conexión (10).

4. Primera disposición de circuito de acuerdo con la reivindicación 3, caracterizada porque la sexta conexión (6) y la décima conexión (10) están conectadas indirectamente entre sí.

5. Primera disposición de circuito de acuerdo con la reivindicación 3 ó 4, caracterizada porque los medios de conmutación (10,20, 31, 32) conectan en el primer estado la décima conexión (10) con el potencial de referencia. 35

6. Primera disposición de circuito de acuerdo con las reivindicaciones 1 a 5, caracterizada porque las cargas (R1, R2, R3) se pueden conectar entre la séptima conexión (7) y una de las octavas conexiones (8), entre una de las octavas conexiones (8) y una de las novenas conexiones (9) y entre una de las novenas conexiones (9) y, dado el caso, con la interposición de la décima conexión (10), el potencial de referencia, pudiendo conectarse entonces todas las cargas en serie entre la séptima conexión (7) y, dado el caso, con la interposición de la décima conexión (10), el potencial de 40 referencia.

7. Disposición para la alimentación de cargas variables (R1, R2, R3)

- desde una primera disposición de circuito (E) de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 a 6, en la que se pueden conectar las cargas (R1, R2, R3),; y

- desde una segunda disposición de circuito (Z) como segunda fuente de corriente o de tensión, 45

- en la que la disposición se puede accionar en al menos tres estados, a saber,

- en un primer estado de funcionamiento inicial, en el que la primera disposición de circuito (E) está en el primer estado y las cargas (R1, R2, R3), pueden ser alimentadas desde la primera fuente de corriente y de tensión (MV),

- en un segundo estado de funcionamiento inicial, en el que la primera disposición de circuito (E) está en el segundo estado y las cargas (R1, R2, R3), se pueden alimenta, en paralelo entre sí, desde la segunda 5 disposición de circuito (Z),

- en un estado de funcionamiento constante, en el que la primera disposición de circuito (E) está en el segundo estado y las cargas (R1, R2, R3), pueden ser alimentadas, conectadas en serie, desde la segunda disposición de circuito (Z),

- en la que se puede conmutar entre el primer estado de funcionamiento inicial y el segundo estado de 10 funcionamiento inicial a través de los medios de conmutación (10, 20, 31, 32) de la primera disposición de circuito y entre el segundo estado de funcionamiento inicial y el estado de funcionamiento duradero a través de los medios de conmutación (41, 42, 43, 50) de la segunda disposición de circuito (Z).

8. Disposición de acuerdo con la reivindicación 7, caracterizada porque la segunda disposición de circuito (Z) presenta medios (91, 92, 93) para garantizar una alimentación de las cargas (R1, R2, R3), con energía eléctrica de la misma 15 magnitud en el segundo estado de funcionamiento inicial de la disposición de circuito.

9. Disposición de acuerdo con la reivindicación 7 u 8, caracterizada porque la segunda disposición de circuito (Z) presenta en el lado de salida unas conexiones (85, 86, 87), con las que se puede conectar la segunda disposición de circuito con la tercera, cuarta y quinta conexión (3, 4, 5) de la primera disposición de circuito (E).

10. Disposición de acuerdo con una de las reivindicaciones 7 a 9, caracterizada porque en el estado de funcionamiento 20 constante entre la conexión (85) del lado de salida y la tercera conexión (3) conectada con ella y la séptima conexión (7) de la primera disposición de circuito, por una parte, y el potencial de referencia cae una primera tensión, mientras que las restantes conexiones (86, 87) del lado de salida de la segunda disposición de circuito y las cuartas y octavas conexiones (4, 8) conectadas con ella o bien las quintas y novenas conexiones (5, 9) están libres de potencial en el funcionamiento en vacío de la disposición. 25

11. Disposición de acuerdo con la reivindicación 9 ó 10, caracterizada porque en el segundo estado de funcionamiento inicial en marcha e vacío entre la primera conexión (85) del lado de salida de la segunda disposición de circuito Z y una primera mitad (87) de las segundas conexiones (86, 87) del lado de salida de la segunda disposición de circuito, por una parte, y un segundo punto de referencia, por otra parte, cae una primera tensión, mientras que una segunda mitad (86) de las segundas conexiones (86, 87) del lado de salida de la segunda disposición de circuito (Z) tiene el mismo 30 potencial que el segundo punto de referencia.

12. Disposición de acuerdo con una de las reivindicaciones 7 a 11, caracterizada porque la segunda disposición de circuito comprende una última conexión (105) del lado de salida, que está en el segundo potencial de referencia.

13. Disposición de acuerdo con una de las reivindicaciones 8 a 12, caracterizada porque los medios de garantía comprenden bobinas (91, 92, 93). 35