METODO DE INSPECCION OPTICA DE ESTRUCTURAS SUPERPUESTAS Y APARATO DE INSPECCION OPTICA DE ESTRUCTURAS SUPERPUESTAS.

Un procedimiento de inspección de estructuras ópticas superpuestas para inspeccionar una estructura óptica superpuesta que tiene una capa de reflexión y por lo menos una película delgada de transmisión de luz superpuestas de manera secuencial sobre un sustrato,

teniendo el sustrato surcos formados sobre el mismo de manera que los surcos afectan a la reflectividad de la capa de reflexión, comprendiendo dicho procedimiento de inspección de estructuras ópticas superpuestas las etapas de: (a) irradiar luz de inspección sobre la estructura óptica superpuesta desde un lado provisto de la película delgada de transmisión de luz; (b) medir una intensidad luminosa de la luz reflejada desde cada capa, caracterizado por la etapa de seleccionar una longitud de onda a la que la intensidad de la luz reflejada depende de un cambio en una longitud de camino óptico de cada capa, y (c) medir un espesor de la película delgada de transmisión de luz basado en la intensidad luminosa de la luz reflejada a la longitud de onda específica seleccionada.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: RICOH COMPANY, LTD..

Nacionalidad solicitante: Japón.

Dirección: 3-6, NAKAMAGOME 1-CHOME, OHTA-KU,TOKYO 143-8555.

Inventor/es: NAKAMURA, YUKI.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 8 de Mayo de 2006.

Fecha Concesión Europea: 26 de Diciembre de 2007.

Clasificación PCT:

  • G01B11/06 SECCION G — FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS.G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida del espesor.

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania.

  • Fb
  • Twitter
  • G+
  • 📞
  • Pinit
METODO DE INSPECCION OPTICA DE ESTRUCTURAS SUPERPUESTAS Y APARATO DE INSPECCION OPTICA DE ESTRUCTURAS SUPERPUESTAS.

Patentes similares o relacionadas:

Dispositivo de medición y procedimiento para medir objetos de test, del 28 de Septiembre de 2016, de iNOEX GmbH Innovationen und Ausrüstungen für die Extrusionstechnik: Dispositivo de medición de terahercios para medir objetos de test, en particular de plástico, con - por lo menos una unidad de emisor-receptor […]

Imagen de 'Procedimiento y sistema de control para controlar la calidad…' Procedimiento y sistema de control para controlar la calidad de revestimiento de piezas, del 28 de Septiembre de 2016, de Dürr Systems AG: Procedimiento para controlar la calidad de revestimiento de unas carrocerías de vehículos automóviles (K) revestidas automáticamente en serie con un elemento de aplicación […]

Sistema de análisis de sellador, del 14 de Septiembre de 2016, de THE BOEING COMPANY: Un método para inspeccionar un sellador en un objeto , comprendiendo el método: generar unos primeros datos para una primera geometría de […]

Instalación de ensayo y procedimiento para el análisis de un cuerpo hueco, del 27 de Julio de 2016, de Sturm Maschinen- & Anlagenbau GmbH: Instalación de ensayo para el análisis de un cuerpo hueco , en particular un taladro de cilindro en un bloque de motor , con: - un dispositivo de medición […]

Procedimiento e instalación de revestimiento para el revestimiento de paredes de cavidad, del 27 de Julio de 2016, de Sturm Maschinen- & Anlagenbau GmbH: Procedimiento para el revestimiento de paredes de cavidad , en particular orificios de cilindro de bloques de motor, en el que - con una lanza de […]

Procedimiento y patrón de luz para medir la altura o el curso de la altura de un objeto, del 29 de Junio de 2016, de VITRONIC DR.-ING. STEIN BILDVERARBEITUNGSSYSTEME GMBH: Procedimiento para medir la altura o el curso de la altura de un objeto , comprendiendo el procedimiento las etapas de procedimiento siguientes: […]

Sistema para el cálculo de propiedades de material usando radiación de terahercios de reflexión y una estructura de referencia externa, del 8 de Junio de 2016, de PICOMETRIX, LLC: Un sistema para interpretar una radiación de terahercios, comprendiendo el sistema (10, 510, 610, 710, 810, […]

Imagen de 'Procedimiento para medir un perfil de altura de un vehículo que…' Procedimiento para medir un perfil de altura de un vehículo que pasa por una carretera, del 30 de Marzo de 2016, de KAPSCH TRAFFICCOM AG: Procedimiento para la medición de un perfil de altura (W2.5, W2.5', W2, W2' ) de un vehículo que pasa en una carretera , que comprende: la orientación de una […]

‹‹ METODO, APARATO Y DISPOSITVO DE ALMACENAMIENTO DE PROGRAMA PARA UN CLIENTE Y UN SERVIDOR DE SINCRONIZACION ADAPTATIVO Y DE TRANSFORMACION

DISPOSITIVO AGITADOR PIVOTANTE PARA LIQUIDOS CONTENIDOS EN RECIPIENTES CON UNA ABERTURA DE PEQUEÑAS DIMENSIONES ››