METODO DE INSPECCION OPTICA DE ESTRUCTURAS SUPERPUESTAS Y APARATO DE INSPECCION OPTICA DE ESTRUCTURAS SUPERPUESTAS.
Un procedimiento de inspección de estructuras ópticas superpuestas para inspeccionar una estructura óptica superpuesta que tiene una capa de reflexión y por lo menos una película delgada de transmisión de luz superpuestas de manera secuencial sobre un sustrato,
teniendo el sustrato surcos formados sobre el mismo de manera que los surcos afectan a la reflectividad de la capa de reflexión, comprendiendo dicho procedimiento de inspección de estructuras ópticas superpuestas las etapas de: (a) irradiar luz de inspección sobre la estructura óptica superpuesta desde un lado provisto de la película delgada de transmisión de luz; (b) medir una intensidad luminosa de la luz reflejada desde cada capa, caracterizado por la etapa de seleccionar una longitud de onda a la que la intensidad de la luz reflejada depende de un cambio en una longitud de camino óptico de cada capa, y (c) medir un espesor de la película delgada de transmisión de luz basado en la intensidad luminosa de la luz reflejada a la longitud de onda específica seleccionada.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: RICOH COMPANY, LTD..
Nacionalidad solicitante: Japón.
Dirección: 3-6, NAKAMAGOME 1-CHOME, OHTA-KU,TOKYO 143-8555.
Inventor/es: NAKAMURA, YUKI.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 8 de Mayo de 2006.
Fecha Concesión Europea: 26 de Diciembre de 2007.
Clasificación PCT:
- G01B11/06 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida del espesor.
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania.
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