METODO DE OBTENCION DE OXIDOS CONDUCTORES ELECTRICOS Y TRANSPARENTES MEDIANTE PULVERIZACION CATODICA.
Método para la obtención de óxidos conductores eléctricos y transparentes mediante pulverización catódica.
Consiste en depositar óxido de indio dopado con estaño y óxido de zinc dopado con aluminio, sobre substratos de vidrio sin calentar intencionadamente, mediante la técnica de pulverización catódica. Comprende las siguientes etapas:
Preparación de los substratos mediante desengrasado, lavado en baño de ultrasonidos, aclarado con agua desionizada y secado mediante chorro de aire.
Introducción de los substratos a recubrir en una cámara de pulverización catódica, y bombardeo de los mismos con iones Ar{sup,+}.
Preparación de blancos de óxido de indio dopado con estaño o de óxido de zinc dopado con aluminio mediante bombardeo con iones Ar{sup,+}.
Recubrimiento de los substratos con el material del que están constituidos los blancos manteniendo en la cámara de pulverización catódica un flujo de argón y oxígeno, este último en cantidades de entre 0,5 y 1 sccm preferiblemente y una densidad de potencia de radiofrecuencia comprendida entre 4000 y 1000 mW/cm{sup,2}.
Este proceso permite obtener láminas delgadas de ambos materiales con alta conductividad eléctrica y alta transparencia a la luz visible.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: CENTRO DE INVESTIGACIONES ENERGETICAS, MEDIOAMBIENTALES Y TECNOLOGICAS (C.I.E.M.A.T).
Nacionalidad solicitante: España.
Provincia: MADRID.
Inventor/es: MARTINEZ CALVO,M. ANGELES, GUTIERREZ GARCIA,M. TERESA, HERRERO RUEDA,JOSE.
Fecha de Solicitud: 28 de Agosto de 2000.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 10 de Marzo de 2004.
Clasificación Internacional de Patentes:
- B05D5/06 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B05 PULVERIZACION O ATOMIZACION EN GENERAL; APLICACION DE MATERIALES FLUIDOS A SUPERFICIES, EN GENERAL. › B05D PROCEDIMIENTOS PARA APLICAR MATERIALES FLUIDOS A SUPERFICIES, EN GENERAL (transporte de objetos en los baños de líquidos B65G, p. ej.. B65G 49/02). › B05D 5/00 Procedimientos para aplicar líquidos u otros materiales fluidos a las superficies para obtener efectos, acabados o estructuras de superficie particulares. › para obtener efectos multicolores u otros efectos ópticos (B05D 5/02 tiene prioridad).
- B05D5/12 B05D 5/00 […] › para obtener un revestimiento que tenga propiedades eléctricas específicas.
- C03C17/23 QUIMICA; METALURGIA. › C03 VIDRIO; LANA MINERAL O DE ESCORIA. › C03C COMPOSICIÓN QUÍMICA DE LOS VIDRIOS, VIDRIADOS O ESMALTES VÍTREOS; TRATAMIENTO DE LA SUPERFICIE DEL VIDRIO; TRATAMIENTO DE LA SUPERFICIE DE FIBRAS O FILAMENTOS DE VIDRIO, SUSTANCIAS INORGÁNICAS O ESCORIAS; UNIÓN DE VIDRIO A VIDRIO O A OTROS MATERIALES. › C03C 17/00 Tratamiento de la superficie del vidrio, p. ej. de vidrio desvitrificado, que no sea en forma de fibras o filamentos, por recubrimiento. › Oxidos (C03C 17/02 tiene prioridad).
- C23C14/08 C […] › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Oxidos (C23C 14/10 tiene prioridad).
- C23C14/34 C23C 14/00 […] › Pulverización catódica.
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