BLOQUE CATODICO DE UNA FUENTE DE IONES CON TRAYECTORIA CONDUCTORA EN LABERINTO.
SE DESCRIBE UNA PLACA DE FILAMENTO (80) PARA UN CONJUNTO DE FUENTE DE HACES DE IONES (10) PARA UN APARATO DE IMPLANTACION DE IONES.
LA PLACA DE FILAMENTO ESTA FORMADA DE TUNGSTENO E INCLUYE DOS RANURAS SEPARADAS EN ESPIRAL (96, 98) QUE LLEGAN A CIERTA PROFUNDIDAD DE LA PLACA. LA SEPARACION ENTRE LAS RANURAS NO ES MUY SUPERIOR A DIEZ VECES LA LONGITUD DE UN PLASMA DEBYE DE IONES GENERADOS POR ELECTRONES EMITIDOS EN UNA CAMARA DE ARCO (62). EL FILAMENTO DE LA PLACA ESTA DISPUESTO EN UNA CAMARA DE ARCO EN LA QUE SE INYECTAN MATERIALES FUENTE IONIZABLES. LA PLACA INCLUYE DOS POSTES CONDUCTORES (106, 108) ENCAJADOS A PRESION EN SENDAS ABERTURAS DE LA PLACA PARA CALENTARLA HASTA LA TEMPERATURA DE EMISION TERMOIONICA. LOS POSTES CONDUCTORES SE EXTIENDEN A TRAVES DE ABERTURAS AISLADAS DE UNA PARED LATERAL DE LA CAMARA DE ARCO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: EATON CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: EATON CENTER, 1111 SUPERIOR AVENUE,CLEVELAND, OHIO 44114-2584.
Inventor/es: BENVENISTE, VICTOR MAURICE.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 13 de Marzo de 2002.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J1/16 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 1/00 Detalles de electrodos, de medios de control magnéticos, de pantallas, o del montaje o espaciamiento de estos elementos, comunes a dos o más tipos básicos de lámparas o tubos de descarga (detalles de dispositivos óptico-electrónicos o de captadores de iones H01J 3/00). › caracterizados por su forma.
- H01J27/08 H01J […] › H01J 27/00 Tubos de haz iónico (H01J 25/00, H01J 33/00, H01J 37/00 tienen prioridad; aceleradores de partículas H05H). › que utilizan una descarga de arco.
- H01J37/08 H01J […] › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Fuente de iones; Cañón iónico.
- H01J9/04 H01J […] › H01J 9/00 Aparatos o procedimientos especialmente adaptados para la fabricación de tubos de descarga eléctrica, lámparas de descarga o de sus componentes; Recuperación de materiales a partir de tubos o lámparas de descarga. › de cátodos termoiónicos.
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