METODO PARA TRATAMIENTO DE SUPERFICIES DE SUBSTRATOS, CON AYUDA DE UN PLASMA Y UN REACTOR PARA LLEVAR A CABO EL METODO.

UN METODO PARA TRATAR SUPERFICIES DE SUBSTRATOS (POR EJEMPLO GRABADO Y DEPOSICION),

UTILIZANDO UN PLASMA. EN LA PRACTICA EL PLASMA FLUYE DE SU FUENTE (13) A UNA CAMARA DE TRATAMIENTO. LA FUENTE DE PLASMA SE FLUYE PRIMERO CON UN GAS FLUYENTE, Y CUANDO ESTE HA ALCANZADO LOS CATODOS (6) SE ALIMENTA EL GAS REACTIVO AL GENERADOR DE PLASMA. TAMBIEN SE DESCRIBE EL REACTOR UTILIZADO EN ESTE PROCEDIMIENTO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN.

Nacionalidad solicitante: Países Bajos.

Dirección: POSTBUS 513, NL-5600 MB EINDHOVEN.

Inventor/es: SCHRAM, DANIEL CORNELIS, KROESEN, GERARDUS MARIA WILHELMUS.

Fecha de Publicación: 16 de Mayo de 1993.

Fecha Concesión Europea: 11 de Noviembre de 1992.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C16/50 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › por medio de descargas eléctricas.
H05H1/32 ELECTRICIDAD. › H05 TECNICAS ELECTRICAS NO PREVISTAS EN OTRO LUGAR. › H05H TECNICA DEL PLASMA (tubos de haz iónico H01J 27/00; generadores magnetohidrodinámicos H02K 44/08; producción de rayos X utilizando la generación de un plasma H05G 2/00 ); PRODUCCION DE PARTICULAS ACELERADAS ELECTRICAMENTE CARGADAS O DE NEUTRONES (obtención de neutrones a partir de fuentes radiactivas G21, p. ej. G21B, G21C, G21G ); PRODUCCION O ACELERACION DE HACES MOLECULARES O ATOMICOS NEUTROS (relojes atómicos G04F 5/14; dispositivos que utilizan la emisión estimulada H01S; regulación de la frecuencia por comparación con una frecuencia de referencia determinada por los niveles de energía de moléculas, de átomos o de partículas subatómicas H03L 7/26). › H05H 1/00 Producción del plasma; Manipulación del plasma (aplicación de la técnica del plasma a reactores de fusión termonuclear G21B 1/00). › utilizando un arco (H05H 1/28 tiene prioridad).
H05H1/34 H05H 1/00 […] › Detalles, p. ej. electrodos, toberas.
H05H1/42 H05H 1/00 […] › con disposiciones para la introducción de materiales en el plasma, p. ej. polvo, líquido (pulverización electrostática, aparatos de pulverización con medios para cargar eléctricamente el pulverizante B05B 5/00).

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