REACTIVACION DE UN BLANCO DE PULVERIZACION CATODICA DE TANTALO.

Un método para reactivar un blanco de pulverización catódica de tántalo consumido

, que comprende las etapas: proporcionar un blanco de pulverización catódica de tántalo usado que tiene una placa de pulverización catódica de tántalo y una placa de soporte, en donde una cara del blanco de dicha placa de pulverización catódica de tántalo incluye una o más porciones de área superficial consumida; proporcionar un polvo de tántalo; suministrar selectivamente un polvo de tántalo para rellenar parcialmente o completamente cada una de dichas una o más porciones de área superficial consumida de la placa de tántalo para formar porciones rellenas; y aplicar un haz de energía radiante de alta potencia de corta duración localmente a dichas porciones rellenas para unir las partículas de polvo de dicho polvo de tántalo entre sí y a cada una de dichas una o más porciones de área superficial consumida para formar una masa de partículas de tántalo unidas, con lo que el haz de energía se hace pasar en un modo de exploración de trama sobre las porciones de área superficial consumida, a medida que el polvo cae, para fundir las superficies de las partículas de polvo y permitir la unión de partícula a partícula y la unión con la base del área superficial consumida continuamente y repetidamente hasta que se rellena y dicho blanco de pulverización catódica de tántalo usado se reactiva sin separar dicha placa de soporte de dicha placa de pulverización catódica de tántalo.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: H. C. STARCK, INC.
AIMONE, PAUL; C/O H. C. STARCK, INC.
KUMAR, PRABHAT; C/O H. C. STARCK, INC.
JEPSON, PETER R.; C/O H. C. STARCK, INC.
UHLENHUT, HENNING; C/O H. C. STARCK, INC.
GOLDBERG, HOWARD V.; C/O H. C. STARCK, INC.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 45 INDUSTRIAL PLACE,NEWTON, MA 02461.

Inventor/es: AIMONE, PAUL; C/O H. C. STARCK, INC., KUMAR, PRABHAT; C/O H. C. STARCK, INC., JEPSON, PETER R.; C/O H. C. STARCK, INC., UHLENHUT, HENNING; H.C. STARCK, GOLDBERG, HOWARD, V.; H.C. STARCK.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 14 de Febrero de 2002.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/34 (Pulverización catódica)
  • SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES > FUNDICION; METALURGIA DE POLVOS METALICOS > TRABAJO DE POLVOS METALICOS; FABRICACION DE OBJETOS... > Fabricación de capas compuestas, de piezas u objetos... > B22F7/06 (de piezas u objetos compuestos de partes diferentes, p. ej. para formar herramientas con plaquitas de metal duro)

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Oficina Europea de Patentes, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania, Armenia, Azerbayán, Bielorusia, Ghana, Gambia, Kenya, Kirguistán, Kazajstán, Lesotho, República del Moldova, Malawi, Mozambique, Federación de Rusia, Sudán, Sierra Leona, Tayikistán, Turkmenistán, República Unida de Tanzania, Uganda, Zimbabwe, Burkina Faso, Benin, República Centroafricana, Congo, Costa de Marfil, Camerún, Gabón, Guinea, Malí, Mauritania, Niger, Senegal, Chad, Togo, Zambia, Organización Regional Africana de la Propiedad Industrial, Swazilandia, Guinea-Bissau, Guinea Ecuatorial, Organización Africana de la Propiedad Intelectual, Organización Eurasiática de Patentes.

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