MODULO DE GRABADO SUAVE MEDIANTE UTIL DE AGRUPACION Y GENERADOR DE PLASMA ECR PARA EL MISMO.
SE PREVE UN GENERADOR DE PLASMA DE RESONANCIA DE CICLOTRON DE ELECTRON (24) EN UN APARATO DE PROCESAMIENTO DE PLASMA EN PASTILLA SEMICONDUCTORA Y MODULO DE HERRAMIENTA DE GRUPO (10),
PARTICULARMENTE PARA SU USO EN GRABACION AL AGUAFUERTE BLANDA. EL GENERADOR (24) GENERA UN PLASMA UNIFORME GIRANDO UNA CAMPO MAGNETICO QUE SOPORTA UNA RESONANCIA QUE PRODUCE PLASMA ALREDEDOR DEL EJE (56) DE UNA CAVIDAD DE RESONANCIA (26) DENTRO DE LA CAMARA DE VACIO (16) DE UN PROCESADOR DE PLASMA. EL CAMPO GIRADO ES PREFERENTEMENTE UN CAMPO DE PUNTO ESTACIONARIO UNICO O MULTIPUNTO ESTACIONARIO PRODUCIDO POR UN CONJUNTO MAGNETICO (60), PREFERENTEMENTE FORMADO DE UNA RED CILINDRICA DE IMANES EN BARRA /0), MONTADOS PARA GIRAR ALREDEDOR DE LA PARTE EXTERIOR DE LA PARED (35) DE LA CAVIDAD (26). EL GAS FLUYE UNIFORMEMENTE DENTRO Y A TRAVES DE LA CAVIDAD A PARTIR DE UNA DUCHA DE DISTRIBUCION DE GAS (48). LA ENERGIA DE MICROONDAS SE DIVIDE EN PARTES IGUALES Y SE ACOPLA DENTRO DE LA CAVIDAD EN MODO TM01 POR UNA PLURALIDAD DE BUCLES AXIAL Y RADIALMENTE ALINEADOS (55).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: MATERIALS RESEARCH CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: ROUTE 303 NORTH,ORANGEBURG, NEW YORK 10962.
Inventor/es: GHANBARI, EBRAHIM.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 21 de Enero de 1992.
Fecha Concesión Europea: 6 de Septiembre de 1995.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
- H05H1/46 H […] › H05 TECNICAS ELECTRICAS NO PREVISTAS EN OTRO LUGAR. › H05H TECNICA DEL PLASMA (tubos de haz iónico H01J 27/00; generadores magnetohidrodinámicos H02K 44/08; producción de rayos X utilizando la generación de un plasma H05G 2/00 ); PRODUCCION DE PARTICULAS ACELERADAS ELECTRICAMENTE CARGADAS O DE NEUTRONES (obtención de neutrones a partir de fuentes radiactivas G21, p. ej. G21B, G21C, G21G ); PRODUCCION O ACELERACION DE HACES MOLECULARES O ATOMICOS NEUTROS (relojes atómicos G04F 5/14; dispositivos que utilizan la emisión estimulada H01S; regulación de la frecuencia por comparación con una frecuencia de referencia determinada por los niveles de energía de moléculas, de átomos o de partículas subatómicas H03L 7/26). › H05H 1/00 Producción del plasma; Manipulación del plasma (aplicación de la técnica del plasma a reactores de fusión termonuclear G21B 1/00). › utilizando campos electromagnéticos aplicados, p. ej. energía a alta frecuencia o en forma de microondas (H05H 1/26 tiene prioridad).
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Finlandia, Rumania, Oficina Europea de Patentes, Australia, Barbados, Bulgaria, Brasil, Canadá, Hungría, Japón, República de Corea, Sri Lanka, Madagascar, Mongolia, Malawi, Noruega, Polonia, Federación de Rusia, Sudán, Burkina Faso, Benin, República Centroafricana, Congo, Costa de Marfil, Camerún, Gabón, Guinea, Malí, Mauritania, Senegal, Chad, Togo, Organización Africana de la Propiedad Intelectual, República Popular Democrática de Corea, Checoslovaquia.
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