ELIPSOMETRO ESPECTROSCOPICO DE BANDA ANCHA Y COMPENSADOR GIRATORIO.

UN ELIPSOMETRO, Y UN PROCEDIMIENTO DE ELIPSOMETRIA, PARA ANALIZAR UNA MUESTRA (2), UTILIZANDO UNA AMPLIA ESCALA DE LONGITUDES DE ONDA, INCLUYE UNA FUENTE DE LUZ

(4), PARA GENERAR UN HAZ DE LUZ POLICROMATICA QUE INTERACCIONA CON LA MUESTRA. UN POLARIZADOR (6) POLARIZA EL HAZ LUMINOSO ANTES DE QUE DICHO HAZ INTERACCIONE CON LA MUESTRA. UN COMPENSADOR GIRATORIO (8) PROVOCA RETRASOS DE FASE DE UN ESTADO DE POLARIZACION DEL HAZ DE LUZ, CARACTERIZADO PORQUE LA ESCALA DE LONGITUDES DE ONDA Y EL COMPENSADOR SE SELECCIONAN DE MANERA QUE SE INDUZCA AL MENOS UN PRIMER VALOR DE RETARDO DE FASE QUE SE ENCUENTRA DENTRO DE UNA ESCALA PRIMARIA DE RETARDOS EFECTIVOS DE PRACTICAMENTE 135° A 225°, PROVOCANDOSE AL MENOS UN SEGUNDO VALOR DE RETRASO DE FASE QUE SE ENCUENTRA FUERA DE LA ESCALA PRIMARIA. UN ANALIZADOR (10) INTERACCIONA CON EL HAZ DE LUZ DESPUES DE QUE ESTE ULTIMO INTERACCIONE CON LA MUESTRA. UN DETECTOR (12) MIDE LA INTENSIDAD DE LA LUZ DESPUES DE INTERACCIONAR CON EL ANALIZADOR, EN FUNCION DEL ANGULO DEL COMPENSADOR Y DE LA LONGITUD DE ONDA, A SER POSIBLE A TODAS LAS LONGITUDES DE ONDA SIMULTANEAMENTE. UN PROCESADOR (23) DETERMINA EL ESTADO DE POLARIZACION DEL ANALIZADOR A PARTIR DE LAS INTENSIDADES DE LUZ MEDIDAS POR EL DETECTOR.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: THERMA-WAVE INC.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 1250 RELIANCE WAY,FREMONT, CALIFORNIA 94539.

Inventor/es: ASPNES, DAVID, E., OPSAL, JON.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 22 de Julio de 1997.

Fecha Concesión Europea: 9 de Octubre de 2002.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION G — FISICA > METROLOGIA; ENSAYOS > INVESTIGACION O ANALISIS DE MATERIALES POR DETERMINACION... > Investigación o análisis de los materiales por... > G01N21/21 (Propiedades que afectan a la polarización (G01N 21/19 tiene prioridad))
  • SECCION G — FISICA > METROLOGIA; ENSAYOS > MEDIDA DE LA INTENSIDAD, DE LA VELOCIDAD, DEL ESPECTRO,... > Medida de la polarización de la luz > G01J4/04 (Polarímetros que utilizan medios de detección eléctricos (G01J 4/02 tiene prioridad))

Países PCT: Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Países Bajos, Suecia, Oficina Europea de Patentes.

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