CAMARA DE EVAPORACION DE MATERIALES BAJO VACIO CON BOMBEO DIFERENCIAL.

Cámara de evaporación de materiales, que comprende una cámara de vacío (10), una primera unidad de bombeo

(13) para bombear dicha cámara y unas fuentes de material, caracterizada porque: - una pared (23) que puede asegurar una estanqueidad total o parcial al vacío, delimita en el seno de la cámara de vacío (10) un primer volumen (25) bombeado por dicha primera unidad de bombeo (13) y un segundo volumen (22) bombeado por una segunda unidad de bombeo (24), - algunas de dichas fuentes de material (17) que tienen un eje principal (18) están dispuestas en el segundo volumen (22) y otras fuentes (21) están dispuestas en el primer volumen (25), - dicha pared (23) presenta unos vaciados (26), estando cada vaciado (26) centrado sobre el eje principal (18) de una de las fuentes de material (17) que tiene un eje principal (18), y porque - la cámara comprende unos medios (27) para obturar o liberar cada uno de dichos vaciados (26), siendo dichos medios (27) controlados individualmente para proteger lasfuentes de material (17) que tienen un eje principal de evaporación (18) no utilizadas.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: RIBER.

Nacionalidad solicitante: Francia.

Dirección: 133, BOULEVARD NATIONAL,F-92500 RUEIL-MALMAISON.

Inventor/es: CHAIX,CATHERINE, JARRY,ALAIN BATIMENT C, NUTTE,PIERRE-ANDRE, LOCQUET,JEAN-PIERRE, FOMPEYRINE,JEAN, SIEGWART,HEINZ.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 14 de Noviembre de 2007.

Clasificación PCT:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > CRECIMIENTO DE CRISTALES > CRECIMIENTO DE MONOCRISTALES (por sobrepresión,... > Crecimiento de monocristales por condensación de... > C30B23/02 (Crecimiento de un lecho epitaxial)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/24 (Evaporación en vacío)
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CAMARA DE EVAPORACION DE MATERIALES BAJO VACIO CON BOMBEO DIFERENCIAL.