REACTIVACION DE UN BLANCO DE PULVERIZACION CATODICA DE TANTALO.

Un método para reactivar un blanco de pulverización catódica de tántalo consumido,

que comprende las etapas: proporcionar un blanco de pulverización catódica de tántalo usado que tiene una placa de pulverización catódica de tántalo y una placa de soporte, en donde una cara del blanco de dicha placa de pulverización catódica de tántalo incluye una o más porciones de área superficial consumida; proporcionar un polvo de tántalo; suministrar selectivamente un polvo de tántalo para rellenar parcialmente o completamente cada una de dichas una o más porciones de área superficial consumida de la placa de tántalo para formar porciones rellenas; y aplicar un haz de energía radiante de alta potencia de corta duración localmente a dichas porciones rellenas para unir las partículas de polvo de dicho polvo de tántalo entre sí y a cada una de dichas una o más porciones de área superficial consumida para formar una masa de partículas de tántalo unidas, con lo que el haz de energía se hace pasar en un modo de exploración de trama sobre las porciones de área superficial consumida, a medida que el polvo cae, para fundir las superficies de las partículas de polvo y permitir la unión de partícula a partícula y la unión con la base del área superficial consumida continuamente y repetidamente hasta que se rellena y dicho blanco de pulverización catódica de tántalo usado se reactiva sin separar dicha placa de soporte de dicha placa de pulverización catódica de tántalo.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: H. C. STARCK, INC.
AIMONE, PAUL; C/O H. C. STARCK, INC.
KUMAR, PRABHAT; C/O H. C. STARCK, INC.
JEPSON, PETER R.; C/O H. C. STARCK, INC.
UHLENHUT, HENNING; C/O H. C. STARCK, INC.
GOLDBERG, HOWARD V.; C/O H. C. STARCK, INC
.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 45 INDUSTRIAL PLACE,NEWTON, MA 02461.

Inventor/es: AIMONE, PAUL; C/O H. C. STARCK, INC., KUMAR, PRABHAT; C/O H. C. STARCK, INC., JEPSON, PETER R.; C/O H. C. STARCK, INC., UHLENHUT, HENNING; H.C. STARCK, GOLDBERG, HOWARD, V.; H.C. STARCK.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 14 de Febrero de 2002.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • B22F7/06 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES.B22 FUNDICION; METALURGIA DE POLVOS METALICOS.B22F TRABAJO DE POLVOS METALICOS; FABRICACION DE OBJETOS A PARTIR DE POLVOS METALICOS; FABRICACION DE POLVOS METALICOS (fabricación de aleaciones mediante metalurgia de polvos C22C ); APARATOS O DISPOSITIVOS ESPECIALMENTE ADAPTADOS PARA POLVOS METALICOS. › B22F 7/00 Fabricación de capas compuestas, de piezas u objetos a base de polvos metálicos, por sinterizado con o sin compactado. › de piezas u objetos compuestos de partes diferentes, p. ej. para formar herramientas con plaquitas de metal duro.
  • C23C14/34 QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Pulverización catódica.

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Oficina Europea de Patentes, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania, Armenia, Azerbayán, Bielorusia, Ghana, Gambia, Kenya, Kirguistán, Kazajstán, Lesotho, República del Moldova, Malawi, Mozambique, Federación de Rusia, Sudán, Sierra Leona, Tayikistán, Turkmenistán, República Unida de Tanzania, Uganda, Zimbabwe, Burkina Faso, Benin, República Centroafricana, Congo, Costa de Marfil, Camerún, Gabón, Guinea, Malí, Mauritania, Niger, Senegal, Chad, Togo, Zambia, Organización Regional Africana de la Propiedad Industrial, Swazilandia, Guinea-Bissau, Guinea Ecuatorial, Organización Africana de la Propiedad Intelectual, Organización Eurasiática de Patentes.

REACTIVACION DE UN BLANCO DE PULVERIZACION CATODICA DE TANTALO.

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