Procedimiento para la aplicación de capas delgadas sobre sustratos y dispositivo de producción para ello.

Procedimiento para la aplicación de capas delgadas sobre sustratos,

según el cual

- los sustratos se disponen sobre soportes de sustratos (22), que están instalados respectivamente en un carro (2) y están montados de modo que circulan a través de las cámaras de proceso (17) en un orden determinado, y

- los soportes de sustratos (22) se conducen a través de las cámaras de proceso (17) según el orden, en donde se realiza el revestimiento en las cámaras de proceso (17) con ayuda de dispositivos de proceso incorporados en ellas, y

- en donde los soportes de sustratos están configurados en forma de tambores giratorios,

- en donde los tambores giratorios se conducen a este respecto a través de campos de tratamiento de los dispositivos de proceso en paralelo al eje de giro de los tambores de giro y durante el paso a través de las cámaras de proceso (17) se giran con velocidades lineales y angulares constantes,

caracterizado por que

- los soportes de sustratos (22) se aceleran respectivamente mediante un accionamiento externo (24) en al menos una cámara de esclusa (13, 14) a la velocidad angular requerida con el carro inmóvil (2) y prosiguen su giro en marcha por inercia,

- porque cada carro (2) está equipado de un motor de baja tensión para el giro del soporte de sustrato, que se alimentan a través de los rodillos de un sistema de transporte o a través de los rodillos de contacto individuales y guías lineales del carro (2), que están aislados de una carcasa del carro, y

- porque la relación de velocidad lineal y angular se selecciona debido a una condición de que cada punto de la superficie de tambor giratorio

- realiza al menos dos vueltas completas durante el paso a través de los campos de tratamiento del dispositivo de proceso (17).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/RU2014/000010.

Solicitante: The Batteries spólka z ograniczona odpowiedzialnoscia.

Inventor/es: KHISAMOV,AYRAT KHAMITOVICH.

Fecha de Publicación: 13 de Febrero de 2019.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C14/24 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Evaporación en vacío.
C23C14/50 C23C 14/00 […] › Portasustrato.
C23C14/56 C23C 14/00 […] › Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.
C23C4/00 C23C […] › Revestimiento por pulverización del material de revestimiento en estado fundido, p. ej. por pulverización a la llama, con plasma o por descarga eléctrica (soldadura de recarga B23K, p. ej. B23K 5/18, B23K 9/04).

PDF original: ES-2699888_T3.pdf

Patentes similares o relacionadas:

Chapa de acero pintada dotada de un revestimiento de zinc, del 11 de Marzo de 2020, de Arcelormittal: Chapa de acero dotada de un revestimiento que comprende al menos una capa de zinc puro, en su caso constituida por impurezas inevitables durante la producción, y […]

Dispositivo para la formación de recubrimientos sobre superficies de una pieza constructiva, un material en forma de banda o una herramienta, del 20 de Noviembre de 2019, de THYSSENKRUPP STEEL EUROPE AG: Dispositivo para la formación de recubrimientos sobre superficies de una pieza constructiva, un material en forma de banda o una herramienta, en el que al menos […]

Procedimiento de revestimiento de un substrato, instalación de aplicación del procedimiento y dispositivo metálico de alimentación de tal instalación, del 12 de Noviembre de 2019, de Arcelormittal: Procedimiento de revestimiento de al menos una cara de un substrato en deslizamiento, por evaporación en vacío mediante plasma de una capa metálica […]

Sistema y método de deposición de vapor, del 4 de Septiembre de 2019, de Quantum Innovations, Inc: Un sistema de deposición , que comprende: una carcasa del sistema que tiene un armazón de la carcasa, unos paneles de la carcasa […]

Conjuntos de metalizador en línea y sistemas de transportador de recubrimiento de piezas que incorporan los mismos, del 24 de Julio de 2019, de Marca Machinery LLC: Un conjunto de metalizador en línea que comprende: una pluralidad de portapiezas , cada uno adaptado para contener una pluralidad […]

Chapa de acero dotada de un revestimiento de zinc, del 5 de Junio de 2019, de Arcelormittal: Chapa de acero 3 dotada de un revestimiento que comprende al menos una capa de zinc obtenida por un procedimiento de revestimiento por depósito al vacío por chorro de […]

Dispositivo de revestimiento modular, del 8 de Mayo de 2019, de AGC GLASS EUROPE: Un dispositivo de revestimiento modular bajo vacío que tiene al menos un módulo que comprende al menos una zona de revestimiento con al menos un compartimento fuente […]

Procedimiento y dispositivo para ahorrar energía y al mismo tiempo aumentar la velocidad de paso en las instalaciones de recubrimiento al vacío, del 1 de Mayo de 2019, de GRENZEBACH MASCHINENBAU GMBH: Dispositivo de recubrimiento mediante pulverización, que se compone de en una serie de segmentos de pulverización y de segmentos de separación de gases […]