COMPOSICIONES DE DESPRENDIMIENTO QUE CONTIENEN OTROS CORONA.
LA ADICION DE LIGANDOS PARA QUELAR IONES DEL GRUPO I Y II A SOLVENTES ORGANICOS UTILIZADOS PARA LA ELIMINACION DE LA FOTORESISTENCIA Y LA LIMPIEZA POR ACIDO DE LOS CONDUCTORES,
REFORZANDO LA DURACION SUBYACENTE DE ESTOS SOLVENTES. ADEMAS, SE REDUCE LA CONTAMINACION DE IONES MOVILES DE CIRCUITOS INTEGRADOS PROCESADOS CON LIGANDOS DE SOLVENTES MODIFICADOS ORGANICAMENTE.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: AT&T CORP..
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 32 AVENUE OF THE AMERICAS,NEW YORK, NY 10013-2412.
Inventor/es: OBENG, YAW SAMUEL.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 6 de Septiembre de 2000.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G03F7/42 FISICA. › G03 FOTOGRAFIA; CINEMATOGRAFIA; TECNICAS ANALOGAS QUE UTILIZAN ONDAS DISTINTAS DE LAS ONDAS OPTICAS; ELECTROGRAFIA; HOLOGRAFIA. › G03F PRODUCCION POR VIA FOTOMECANICA DE SUPERFICIES TEXTURADAS, p. ej. PARA LA IMPRESION, PARA EL TRATAMIENTO DE DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; MATERIALES A ESTE EFECTO; ORIGINALES A ESTE EFECTO; APARELLAJE ESPECIALMENTE ADAPTADO A ESTE EFECTO (aparatos de composición fototipográfica B41B; materiales fotosensibles o procesos para la fotografía G03C; electrofotografía, capas sensibles o procesos a este efecto G03G). › G03F 7/00 Producción por vía fotomecánica, p. ej. fotolitográfica, de superficies texturadas, p. ej. superficies impresas; Materiales a este efecto, p. ej. conllevando fotorreservas; Aparellaje especialmente adaptado a este efecto (utilizando estructuras de fotorreservas para procesos de producción particulares, ver en los lugares adecuados, p. ej. B44C, H01L, p. ej. H01L 21/00, H05K). › Eliminación de reservas o agentes a este efecto.
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