UN METODO PARA PULIR MECANICA-QUIMICAMENTE UN SUBSTRATO DE COMPONENTE ELECTRONICO Y LECHADA DE PULIMENTO PARA EL MISMO.
SE DIFUNDO UN METODO DE PULIDO MECANICO-QUIMICO DE UN SUBSTRATO DE COMPONENTE ELECTRONICO.
EL METODO INCLUYE LOS PASOS SIGUIENTES: OBTENCION DE UN SUBSTRATO QUE TENGA AL MENOS DOS CARACTERISTICAS SOBRE EL MISMO O EN EL MISMO, QUE TENGA UN INDICE DE ATAQUE CON ACIDO DIFERENTE CON RESPECTO A UN ACIDO PARA GRABAR PARTICULAR; Y PONER EN CONTACTO EL SUBSTRATO CON UNA ALMOHADILLA DE PULIMENTADO A LA VEZ QUE SE APLICA AL SUBSTRATO UNA LECHADA CONTENIENDO EL ACIDO PARA GRABAR EN LA QUE LA LECHADA INCLUYE PARTICULAS ABRASIVAS, UNA SAL QUELATADA DE METAL DE TRANSICION Y UN DISOLVENTE PARA LA SAL. EL PULIMENTADO MECANICO-QUIMICO DA LUGAR A QUE AL MENOS DOS CARACTERISTICAS SEAN COPLANARES SUSTANCIALMENTE. SE DIFUNDE IGUALMENTE LA LECHADA DE PULIMENTADO MECANICO-QUIMICO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: OLD ORCHARD ROAD,ARMONK, N.Y. 10504.
Inventor/es: CARR, JEFFREY WILLIAM, DAVID, LAWRENCE DANIEL, GUTHRIE, WILLIAM LESLIE, KAUFMAN, FRANK BENJAMIN, PATRICK, WILLIAM JOHN, RODBELL, KENNETH PARKER, PASCO, ROBERT WILLIAMNENADIC, ANTON.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 20 de Diciembre de 1995.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01L21/302 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › para cambiar las características físicas de sus superficies o para cambiar su forma, p. ej. grabado, pulido, recortado.
- H01L21/48 H01L 21/00 […] › Fabricación o tratamiento de partes, p. ej. de contenedores, antes del ensamblado de los dispositivos, utilizando procedimientos no cubiertos por un único grupo de H01L 21/06 - H01L 21/326.
- H01L21/90
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