Resonador acústico con fijación mecánica reducida de una región activa para una respuesta de modo de cizalladura mejorada.
Un dispositivo resonador (10) de sistemas microelectromecánicos,
de tipo MEMS, que comprende:
un sustrato (12); y
una estructura de resonador de ondas acústicas de volumen (14) dispuesta sobre al menos una porción del sustrato, incluyendo la estructura de resonador de ondas acústicas de volumen un material piezoeléctrico (22) que comprende un eje c (30) con una distribución de orientación que es predominantemente no paralela a la normal de una cara del sustrato, un electrodo de lado superior (26) dispuesto sobre el material piezoeléctrico, y un electrodo de lado inferior (24) dispuesto entre el material piezoeléctrico y el sustrato, en donde al menos una porción del material piezoeléctrico está dispuesta entre el electrodo de lado superior y el electrodo de lado inferior para formar una región activa (28);
caracterizado por que:
la región activa está rodeada lateralmente por una región inactiva (42), y un espesor de material piezoeléctrico de al menos una porción de la región inactiva es menor que un espesor de material piezoeléctrico de la región activa, de modo que al menos una porción superior de la región inactiva a lo largo de un límite (44) de la región activa esté desprovista de material piezoeléctrico, definiendo al menos una discontinuidad a lo largo de al menos unas porciones superiores de los bordes laterales opuestos del material piezoeléctrico en la región activa;
la al menos una discontinuidad está configurada para reducir la fijación mecánica de la región activa en una dirección de desplazamiento lateral máximo durante el funcionamiento en el modo de cizalladura de la estructura de resonador de ondas acústicas de volumen;
la región activa comprende una longitud paralela a la dirección de desplazamiento lateral máximo durante el funcionamiento en el modo de cizalladura de la estructura de resonador de ondas acústicas de volumen, extendiéndose la longitud entre un primer extremo longitudinal y un segundo extremo longitudinal de la región activa; y
la al menos una discontinuidad está limitada al menos en parte por el primer extremo longitudinal y el segundo extremo longitudinal.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2016/063008.
Solicitante: QORVO US, INC.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 7628 Thorndike Road Greensboro, NC 27409 ESTADOS UNIDOS DE AMERICA.
Inventor/es: BELSICK,JOHN, MORTON,RICK.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01N29/02 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01N INVESTIGACION O ANALISIS DE MATERIALES POR DETERMINACION DE SUS PROPIEDADES QUIMICAS O FISICAS (procedimientos de medida, de investigación o de análisis diferentes de los ensayos inmunológicos, en los que intervienen enzimas o microorganismos C12M, C12Q). › G01N 29/00 Investigación o análisis de materiales por el empleo de ondas ultrasonoras, sonoras o infrasonoras; Visualización del interior de objetos por transmisión de ondas ultrasonoras o sonoras a través del objeto (G01N 3/00 - G01N 27/00 tienen prioridad). › Análisis de fluidos (utilizando técnicas de emisión acústica G01N 29/14).
- G01N29/036 G01N 29/00 […] › mediante la medida de la frecuencia o resonancia de ondas acústicas.
- G01N29/32 G01N 29/00 […] › Disposiciones para la supresión de influencias indeseadas, p. ej. variaciones de temperatura o presión.
- H03H9/17 ELECTRICIDAD. › H03 CIRCUITOS ELECTRONICOS BASICOS. › H03H REDES DE IMPEDANCIA, p. ej. CIRCUITOS RESONANTES; RESONADORES (medidas, ensayos G01R; disposiciones para producir una reverberación sonora o un eco G10K 15/08; redes de impedancia o resonadores que se componen de impedancias distribuidas, p. ej. del tipo guía de ondas, H01P; control de la amplificación, p. ej. control del ancho de banda de los amplificadores, H03G; sintonización de circuitos resonantes, p. ej. sintonización de circuitos resonantes acoplados, H03J; redes para modificar las características de frecuencia de sistemas de comunicación H04B). › H03H 9/00 Redes que comprenden dispositivos electromecánicos o electroacústicos; Resonadores electromecánicos (fabricación de elementos piezoeléctricos o magnetoestrictivos H01L 41/00; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos y similares H04R). › teniendo un resonador único (diapasones de cristal H03H 9/21).
PDF original: ES-2819125_T3.pdf
Patentes similares o relacionadas:
DISPOSITIVO SENSOR Y SISTEMA PARA LA MEDICIÓN EN LÍNEA DE LA VELOCIDAD DE GAS SUPERFICIAL, PROFUNDIDAD DE ESPUMA, DENSIDAD APARENTE Y HOLDUP EN CELDAS DE FLOTACIÓN, del 2 de Julio de 2020, de UNIVERSIDAD CATÓLICA DEL NORTE: La presente invención se relaciona al campo de los dispositivos de medición, más específicamente a los dispositivos de medición de presión y flujo, así […]
Aparato y método para medir la cinética de unión y concentración con un sensor resonador, del 8 de Abril de 2020, de QORVO US, INC: Aparato para medir la cinética de unión de una interacción de un material de analito presente en una muestra de fluido, que comprende: un resonador de detección […]
EQUIPO PARA LA DETERMINACIÓN DEL EQUILIBRIO ISOBÁRICO VAPOR-LÍQUIDO-SÓLIDO Y VAPOR-LÍQUIDO-LÍQUIDO-SÓLIDO, del 19 de Diciembre de 2019, de UNIVERSIDAD DE ALICANTE: La invención consiste en un equipo para la determinación del equilibrio cuando hay sólidos presentes. El equipo comprende un calderín que aloja una […]
Conjunto para la detección de gas contenido en un líquido, del 18 de Diciembre de 2019, de INFOMED SA: Conjunto para la detección de la presencia de un gas en un líquido confinado o que circula en un conducto que comprende un elemento de soporte del conducto […]
Biosensor de TSM para caracterizar ex vivo las propiedades viscoelásticas de la piel, del 4 de Septiembre de 2019, de CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS): Biosensor de modo de cizallamiento de espesor (TSM) que comprende: - un medio de cultivo, - un transductor de TSM que comprende: un […]
Utilización de oligosilsesquioxanos octaédricos funcionalizados como materiales sensibles en sensores químicos destinados a detectar la presencia de estupefacientes en un medio gaseoso, del 14 de Agosto de 2019, de COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES: Uso de al menos un oligosilsesquioxano octaédrico de la siguiente fórmula general (I):**Fórmula** en la que: • R1 y R2 son idénticos entre […]
EQUIPO PARA LA DETERMINACIÓN DEL EQUILIBRIO ISOBÁRICO VAPOR-LÍQUIDO-SÓLIDO Y VAPOR-LÍQUIDO-LÍQUIDO-SÓLIDO, del 4 de Junio de 2019, de UNIVERSITAT D'ALACANT / UNIVERSIDAD DE ALICANTE: Equipo para la determinación del equilibrio isobárico vapor-líquido-sólido y vapor-líquido-líquido-sólido. La invención consiste en un equipo para la determinación del […]
DETERMINACIÓN DE LA VISCOSIDAD DE UN FLUIDO EN UN RECIPIENTE, del 19 de Octubre de 2011, de Cameron International Corporation: APARATO PARA DETERMINAR LA VISCOSIDAD DE UN FLUIDO EN UN RECIPIENTE (TAL COMO UNA TUBERIA). EL APARATO COMPRENDE UN MECANISMO PARA TRANSMITIR UNA SEÑAL AL INTERIOR DE UN FLUIDO […]