Lingote de carburo de silicio monocristalino, y sustrato y oblea epitaxial obtenidos a partir del lingote de carburo de silicio monocristalino.
Un lingote de carburo de silicio monocristalino, que comprende carburo de silicio monocristalino que contiene una impureza del tipo donante en una concentración de 2 x 1018 cm-3 a 6 x 1020 cm-3 y una impureza del tipo aceptante en una concentración de 1 x 1018 cm-3 a 5,
99 x 1020 cm-3 y donde la concentración de la impureza del tipo donante es mayor que la concentración de la impureza del tipo aceptante y la diferencia es 1 x 1018 cm-3 a 5,99 x 1020 cm-3.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/JP2009/050786.
Solicitante: NIPPON STEEL & SUMITOMO METAL CORPORATION.
Inventor/es: OHTANI,NOBORU, KATSUNO,MASAKAZU, TSUGE,HIROSHI, NAKABAYASHI,MASASHI, FUJIMOTO,TATSUO.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C30B29/36 QUIMICA; METALURGIA. › C30 CRECIMIENTO DE CRISTALES. › C30B CRECIMIENTO DE MONOCRISTALES (por sobrepresión, p. ej. para la formación de diamantes B01J 3/06 ); SOLIDIFICACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTICOS O SEPARACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTOIDES; AFINAMIENTO DE MATERIALES POR FUSION DE ZONA (afinamiento por fusión de zona de metales o aleaciones C22B ); PRODUCCION DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (colada de metales, colada de otras sustancias por los mismos procedimientos o aparatos B22D; trabajo de materias plásticas B29; modificación de la estructura física de metales o aleaciones C21D, C22F ); MONOCRISTALES O MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA; TRATAMIENTO POSTERIOR DE MONOCRISTALES O DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (para la fabricación de dispositivos semiconductores o de sus partes constitutivas H01L ); APARATOS PARA ESTOS EFECTOS. › C30B 29/00 Monocristales o materiales policristalinos homogéneos de estructura determinada caracterizados por los materiales o por su forma. › Carburos.
PDF original: ES-2602565_T3.pdf
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