FUENTE DE ELECTRONES POR EMISION POR EFECTO DE CAMPO.
Se facilita una fuente de electrones en emisión de campo a bajo coste en la que los electrones se pueden emitir con alta estabilidad y alta eficiencia,
y un procedimiento para producir la misma. En la fuente de emisión de electrones en campo, se forma una parte de deriva de campo eléctrico fuerte 106 en el sustrato de silicio de tipo n sobre la superficie principal del mismo y se forma un electrodo de superficie 107 hecho de una película delgada de oro sobre la parte de deriva de campo eléctrico fuerte 106. Y el electrodo óhmico 2 se forma sobre la superficie posterior del sustrato de silicio de tipo n 101. En esta fuente de electrones de emisión de campo 110, cuando el electrodo de superficie 107 está colocado en el vacío y se aplica una tensión continua al electrodo de superficie 107 que tiene una polaridad positiva con respecto al sustrato de silicio de tipo n 101 (electrodo óhmico 2) los electrones inyectados desde el sustrato de silicio de tipo n se conducen en la parte de deriva de campo eléctrico fuerte 106 y se emiten a través del electrodo superficial 107. La parte de deriva de campo eléctrico fuerte 106 comprende una región de deriva 161 que tiene una sección de cruce en la estructura de malla en ángulos rectos respecto a la dirección de grosor del sustrato de silicio de tipo n 1, que es un sustrato eléctricamente conductor, y una región de radiación de calor 162 que se rellena en los huecos de la malla y que tiene una conducción de calor más alta que la región de deriva 161.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: MATSUSHITA ELECTRIC WORKS, LTD..
Nacionalidad solicitante: Japón.
Dirección: 1048, OAZA-KADOMA,KADOMA-SHI , OSAKA-FU 571-86.
Inventor/es: KOMODA, TAKUYA, ICHIHARA, TSUTOMU, AIZAWA, KOICHI, KOSHIDA, NOBUYOSHI.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 4 de Febrero de 2004.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J1/30 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 1/00 Detalles de electrodos, de medios de control magnéticos, de pantallas, o del montaje o espaciamiento de estos elementos, comunes a dos o más tipos básicos de lámparas o tubos de descarga (detalles de dispositivos óptico-electrónicos o de captadores de iones H01J 3/00). › Cátodos fríos.
- H01J9/02 H01J […] › H01J 9/00 Aparatos o procedimientos especialmente adaptados para la fabricación de tubos de descarga eléctrica, lámparas de descarga o de sus componentes; Recuperación de materiales a partir de tubos o lámparas de descarga. › Fabricación de electrodos o de sistemas de electrodos.
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