PROCESO DE FABRICACION DE CIRCUITO INTEGRADO FOTONICO.

SE PRESENTA UN PROCESO PARA ATACAR AL ACIDO MODELOS ONDULADOS,

PARA DISPOSITIVOS DE RETROALIMENTACION DISTRIBUIDA (DFB) O REFLECTORES DE BRAGG DISTRIBUIDOS (DBR). UNA CAPA DE ENMASCARAMIENTO SE DEPOSITA SOBRE EL AREA ADYACENTE AL AREA CUANDO SE REQUIERE LA ONDULACION. UNA ENMASCARAMIENTO DIBUJADA DE ONDULACION SE FORMA SOBRE LA CAPA DE ENMASCARAMIENTO ASI COMO SOBRE EL AREA DONDE SE REQUIERE LA ONDULACION Y SE LLEVA A CABO EL ATAQUE AL ACIDO PARA FORMAR ONDULACIONES (62) EN LA CAPA DE ENMASCARAMIENTO ASI COMO LAS ONDULACIONES DESEADA (61). LA CAPA DE ENMASCARAMIENTO PUEDE SER RETIRADA. EL MATERIAL DE LA CAPA DE ENMASCARAMIENTO SE ELIGE PARA ATACAR AL ACIDO A LA MISMA VELOCIDAD, Y ASI PARA AGOTAR LA CONCENTRACION DEL DECAPANTE ATAQUE A ACIDO POR LA MISMA CANTIDAD, CUANDO EL MATERIAL EN EL QUE SE REQUIERES LAS ONDULACIONES. ASI SE EVITAN CONCENTRACIONES MAYORES DE DECAPANTE CERCA DEL BORDE DE LA CAPA DE ENMASCARAMIENTO, Y EVITAR UN SOBREATAQUE AL ACIDO CONSECUENTE.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: AT&T CORP..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 32 AVENUE OF THE AMERICAS,NEW YORK, NY 10013-2412.

Inventor/es: KOCH, THOMAS LAWSON, KOREN, UZIEL.

Fecha de Publicación: 16 de Enero de 1999.

Fecha Concesión Europea: 4 de Noviembre de 1998.

Clasificación Internacional de Patentes:

G02B6/12 FISICA. › G02 OPTICA. › G02B ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS (G02F tiene prioridad; elementos ópticos especialmente adaptados para ser utilizados en los dispositivos o sistemas de iluminación F21V 1/00 - F21V 13/00; instrumentos de medida, ver la subclase correspondiente de G01, p. ej. telémetros ópticos G01C; ensayos de los elementos, sistemas o aparatos ópticos G01M 11/00; gafas G02C; aparatos o disposiciones para tomar fotografías, para proyectarlas o para verlas G03B; lentes acústicas G10K 11/30; "óptica" electrónica e iónica H01J; "óptica" de rayos X H01J, H05G 1/00; elementos ópticos combinados estructuralmente con tubos de descarga eléctrica H01J 5/16, H01J 29/89, H01J 37/22; "óptica" de microondas H01Q; combinación de elementos ópticos con receptores de televisión H04N 5/72; sistemas o disposiciones ópticas en los sistemas de televisión en colores H04N 9/00; disposiciones para la calefacción especialmente adaptadas a superficies transparentes o reflectoras H05B 3/84). › G02B 6/00 Guías de luz; Detalles de estructura de las disposiciones que comprenden guías de luz y otros elementos ópticos, p. ej. medios de acoplamiento. › del género de circuito integrado (producción o tratamiento de monocristales C30B; circuitos integrados eléctricos H01L 27/00).
H01L21/82 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › para producir dispositivos, p. ej. circuitos integrados que consisten cada uno en una pluralidad de componentes.
H01S3/025

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