UN METODO PARA PROLONGAR LA VIDA DEL GAS DE LASERES EXCIMEROS.
UN METODO PARA PROLONGAR LA VIDA DEL GAS DE UN LASER EXCIMERO SUPRIMIENDO LA IMPUREZA DEL CF4,
QUE COMPRENDE: A) LA REACCION DEL CF4, UNA IMPUREZA INDESEABLE QUE SE FORMA Y QUE CONTIENEN LOS GASES DE ACCION LASER, CON UNA CANTIDAD DE UN ADITIVO DE GAS OXIDANTE EFICAZ PARA PRODUCIR UNO O MAS COMPUESTOS QUE SON CONDENSABLES CON UN MEDIO DE REFRIGERACION, SIN REDUCIR EL RENDIMIENTO DEL LASER POR DEBAJO DE UN NIVEL ACEPTABLE PREDETERMINADO; Y B) LA CONDENSACION DE DICHO O DICHOS COMPUESTOS PRODUCIDOS EN EL PASO A) CON UN MEDIO DE REFRIGERACION, SUBSTANCIALMENTE, ADEMAS, SIN CONDENSAR DICHO O DICHOS GASES RAROS, SUPRIMIENDO, DE ESTE MODO, DICHA IMPUREZA DEL CF4 DE DICHO LASER EXCIMERO Y PROLONGANDO LA VIDA DEL GAS DEL LASER.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES.
Nacionalidad solicitante: Francia.
Dirección: 75, QUAI D'ORSAY,F-75321 PARIS CEDEX 07.
Inventor/es: JURSICH, GREGORY, M., VON DRASEK, WILLIAM, A.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 25 de Febrero de 1992.
Fecha Concesión Europea: 20 de Julio de 1994.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01S3/036 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01S DISPOSITIVOS QUE UTILIZAN EL PROCESO DE AMPLIFICACION DE LUZ MEDIANTE EMISION ESTIMULADA DE RADIACIÓN [LASER] PARA AMPLIFICAR O GENERAR LUZ; DISPOSITIVOS QUE UTILIZAN EMISION ESTIMULADA DE RADIACION ELECTROMAGNETICA EN RANGOS DE ONDA DISTINTOS DEL ÓPTICO. › H01S 3/00 Láseres, es decir, dispositivos que utilizan la emisión estimulada de la radiación electromagnética en el rango de infrarrojos, visible o ultravioleta (láseres de semiconductores H01S 5/00). › Medios para obtener o mantener la presión deseada del gas en el interior del tubo, p. ej. por medio de un getter o de una recarga; Medios para hacer circular el gas, p. ej. para uniformizar la presión en el interior del tubo.
- H01S3/225 H01S 3/00 […] › incluyendo un "excimer" o "exciplex".
Países PCT: Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Oficina Europea de Patentes, Canadá, Japón.
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