CAPTADOR CAPACITIVO INTEGRABLE DE PRESION Y SU PROCEDIMIENTO DE PRODUCCION.
SE PROPONE UN PROCESO PARA LA FABRICACION DE UN SENSOR DE PRESION CAPACITIVA INTEGRABLE QUE INCLUYE LAS SIGUIENTES ETAPAS,
EMPEZANDO A PARTIR DE UN SUBSTRATO SEMICONDUCTOR: APLICACION DE UNA PELICULA (2) SOPORTE, PRECIPITACION DE UNA PELICULA (4) DE SEMICONDUCTOR POLICRISTALINO, DOPADO DE LA PELICULA (4) DE SEMICONDUCTOR POLICRISTALINO, Y ELIMINADO DE LA PELICULA (2) DE SOPORTE. PARA DISEÑAR EL SENSOR DE PRESION QUE PUEDA SER COMPATIBLE CON CIRCUITOS CMOS, Y PARA INCREMENTAR LA EXACTITUD DEL SENSOR, LA INVENCION PROPONE QUE SEA AISLADA UNA ZONA (7) SEMICONDUCTORA DEL SUBSTRATO (1) SEMICONDUCTOR Y SE APLIQUE UNA PELICULA (8) AISLADORA EN LA ZONA (7) DEL SEMICONDUCTOR AISLADO, ESTANDO LOCALIZADA LA PELICULA (4) SEMICONDUCTORA POLICRISTALINA EN LA PELICULA (2) AISLADORA POR ENCIMA DE LA ZONA (7) DEL SEMICONDUCTOR AISLADO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V..
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: LEONRODSTRASSE 54,D-80636 MUNCHEN.
Inventor/es: MOKWA, WILFRIED, ZIMMER, GUNTHER, DR., EICHHOLZ, JORG, KANDLER, MICHAEL, MANOLI, YIANNAKIS.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 9 de Febrero de 1991.
Fecha Concesión Europea: 13 de Abril de 1994.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01L9/12 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01L MEDIDA DE FUERZAS, TENSIONES, PARES, TRABAJO, POTENCIA MECANICA, RENDIMIENTO MECANICO O DE LA PRESION DE LOS FLUIDOS (pesado G01G). › G01L 9/00 Medida de la presión permanente, o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente por elementos eléctricos o magnéticos sensibles a la presión; Transmisión o indicación por medios eléctricos o magnéticos del desplazamiento de los elementos mecánicos sensibles a la presión, utilizados para medir la presión permanente o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente (medida de las diferencias entre dos o más valores de la presión G01L 13/00; medida simultánea de dos o más valores de la presión G01L 15/00). › haciendo uso de las variaciones de capacidad.
Países PCT: Suiza, Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Liechtensein, Países Bajos, Oficina Europea de Patentes, Japón, República de Corea, Estados Unidos de América.
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