"UN APARATO PARA EXPONER UN MEDIO FOTOSENSIBLE A LA LUZ DE UNA PLURALIDAD DE LONGITUDES DE ONDA DISTINTAS PARA PRODUCIR UN DISEÑO IMPRESIONADO EN EL ELEMENTO".
DISPOSITIVO DE LITOGRAFIA OPTICA. CONSTA DE UNA FUENTE DE LUZ (10) CONSISTENTE EN UN LASER PULSANTE EXCIMERICO DE HALURO DE GAS RARO,
QUE PRODUCE LUZ DE UNA LONGITUD DE ONDA FUNDAMENTAL, AL MENOS. LA SALIDA DE LA FUENTE DE LUZ (10) ES DIRIGIDA POR UN SISTEMA OPTICO (12), A FIN DE IMPRESIONAR UN MEDIO FOTOSENSIBLE (16) EXPUESTO, DE RESINA NOVOLACA SENSIBILIZADA. COMO ALTERNATIVAS DE LA PRESENTE INVENCION, SE ENCUENTRAN EMPLEAR MEZCLAS DE VARIOS GASES EXCIMEROS, Y DIRIGIR LA SALIDA DE LA FUENTE DE LUZ A UNA CELULA DE RAMAN.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: ARMONK, NUEVA YORK 10504.
Fecha de Solicitud: 21 de Mayo de 1982.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 17 de Diciembre de 1982.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G03C5/16 FISICA. › G03 FOTOGRAFIA; CINEMATOGRAFIA; TECNICAS ANALOGAS QUE UTILIZAN ONDAS DISTINTAS DE LAS ONDAS OPTICAS; ELECTROGRAFIA; HOLOGRAFIA. › G03C MATERIALES FOTOSENSIBLES PARA FOTOGRAFIA; PROCESOS FOTOGRAFICOS, p. ej. PROCESOS CINEMATOGRAFICOS, DE RAYOS X, EN COLORES o ESTEREOFOTOGRAFICOS; PROCESOS AUXILIARES EN FOTOGRAFIA (procesos fotográficos caracterizados por el uso o la manipulación de aparatos, pueden ser clasificados en sí en la subclase G03B o ver G03B). › G03C 5/00 Procesos fotográficos o agentes a este efecto; Regeneración de tales agentes de tratamiento (procesos multicolores G03C 7/00; procesos de difusión por transferencia G03C 8/00; procesos estereofotográficos G03C 9/00). › Procesos con rayos X, infrarrojos o ultravioletas.
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