Procedimiento y dispositivo para el revestimiento en continuo de sustratos.

Procedimiento para el revestimiento en continuo de sustratos, en el que en un dispositivo de revestimiento los sustratos son transportados a través de un espacio de deposición

(4) que está limitado por dos soportes de sustrato (1, 1') así como por un suelo (2) y una tapa (6), en donde el suelo (2) presenta un dispositivo (3) para guiar los soportes de sustrato (1, 1'), y los sustratos son transportados sobre los soportes de sustrato (1, 1') a través del dispositivo de revestimiento, durante el transporte se realiza el revestimiento en continuo de los sustratos, y en donde la tapa (6) está fijada a los soportes de sustrato (1, 1') y de esta manera se transporta junto con los soportes (1, 1') de sustrato mediante el dispositivo de revestimiento.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2012/063425.

Solicitante: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V..

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: HANSASTRASSE 27C 80686 MUNCHEN ALEMANIA.

Inventor/es: ARNOLD,MARTIN, REBER,STEFAN, SCHILLINGER,NORBERT, POCZA,DAVID.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > Dispositivos semiconductores sensibles a la radiación... > H01L31/18 (Procesos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de estos dispositivos o de sus partes constitutivas)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/458 (caracterizado por el proceso utilizado para mantener el sustrato en la cámara de reacción)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/54 (Aparatos especialmente adaptados para el revestimiento en continuo)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/44 (caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad))

PDF original: ES-2553450_T3.pdf

 

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Ilustración 1 de Procedimiento y dispositivo para el revestimiento en continuo de sustratos.
Ilustración 2 de Procedimiento y dispositivo para el revestimiento en continuo de sustratos.
Ilustración 3 de Procedimiento y dispositivo para el revestimiento en continuo de sustratos.
Ilustración 4 de Procedimiento y dispositivo para el revestimiento en continuo de sustratos.
Procedimiento y dispositivo para el revestimiento en continuo de sustratos.