PROCEDIMIENTO PARA LA PRODUCCION DE REVESTIMIENTOS DELGADOS Y DIFICILMENTE SOLUBLES.

Procedimiento para la producción de revestimientos delgados y difícilmente solubles sobre substratos

(S) con una morfología arbitraria, con las siguientes etapas de procedimiento que se han de realizar de un modo cíclico en dependencia del deseado espesor de capa, para la producción de capas cerámicas u oxídicas (CL/OL): I. aplicación de por lo menos una sustancia de partida (P) apropiada para la constitución de capas sobre la superficie del substrato (S), II. desecación de la capa (PL) de sustancias de partida que se ha formado, en una corriente gaseosa (GS) inerte, o por evaporación, III. gaseo de la capa secada (PLD) de sustancias de partida con un gas reaccionante (RG) húmedo para la transformación en una correspondiente capa (HL) de hidróxido o de complejo, IV. tratamiento térmico de la capa (HL) de hidróxido o complejo que se ha formado, con el fin de formar la capa final (CL/OL) respectiva, y a continuación, dependiendo de la aparición de componentes de partida que no hayan reaccionado o de productos secundarios indeseados: V. enjuagado para la eliminación y subsiguiente desecación de éstos.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: GLIENICKER STRASSE 100,14109 BERLIN.

Inventor/es: FISCHER, CHRISTIAN-HERBERT, MUFFLER, HANS-JURGEN, LUX-STEINER, MARTHA, CHRISTINA.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 6 de Abril de 2000.

Fecha Concesión Europea: 25 de Septiembre de 2002.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > Dispositivos semiconductores sensibles a la radiación... > H01L31/18 (Procesos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de estos dispositivos o de sus partes constitutivas)
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > C23C26/00 (Revestimientos no previstos por los grupos C23C 2/00 - C23C 24/00)
  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > Procedimientos o aparatos especialmente adaptados... > H01L21/368 (utilizando un depósito líquido)

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Oficina Europea de Patentes, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania, Armenia, Azerbayán, Bielorusia, Ghana, Gambia, Kenya, Kirguistán, Kazajstán, Lesotho, República del Moldova, Malawi, Federación de Rusia, Sudán, Sierra Leona, Tayikistán, Turkmenistán, República Unida de Tanzania, Uganda, Zimbabwe, Burkina Faso, Benin, República Centroafricana, Congo, Costa de Marfil, Camerún, Gabón, Guinea, Malí, Mauritania, Niger, Senegal, Chad, Togo, Organización Regional Africana de la Propiedad Industrial, Swazilandia, Guinea-Bissau, Organización Africana de la Propiedad Intelectual, Organización Eurasiática de Patentes.

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