Procedimiento de enfoque automático y dispositivo de enfoque automático.
Procedimiento de enfoque automático, en el que la luz desde una fuente de luz (12) a través de dos orificios de un medio (28) es dividida en dos trayectorias de la luz (48,
50), es enfocada en un foco de luz de medición (52) en una muestra (6) y es reflejada desde allí y la luz reflejada es conducida a través de un sistema óptico (22) en dos trayectorias de luz (48, 50) correspondientes sobre al menos dos elementos detectores (72, 74), en el que el foco de luz de medición (52) se mueve en capas de la muestra (6) que reflejan luz con diferente intensidad, y la luz reflejada es conducida a través de al menos un orificio de pantalla (46), que corresponde en su forma a la forma de la fuente de luz (12), está dispuesto en un plano de la imagen del sistema óptico (22) y está dispuesto fuera de un eje óptico (20) del sistema óptico (22); y los elementos detectores (72, 74) están dispuestos de tal forma que en este caso las curvas de una propiedad de radiación registrada por los elementos detectores (72, 74) son diferentes entre sí y se ajusta una posición de enfoque en función de las curvas.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/IB2010/000518.
Solicitante: SAKURA FINETEK U.S.A., INC..
Inventor/es: HING,PAUL, HENSLER,SVEN.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- G02B21/24 FISICA. › G02 OPTICA. › G02B ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS (G02F tiene prioridad; elementos ópticos especialmente adaptados para ser utilizados en los dispositivos o sistemas de iluminación F21V 1/00 - F21V 13/00; instrumentos de medida, ver la subclase correspondiente de G01, p. ej. telémetros ópticos G01C; ensayos de los elementos, sistemas o aparatos ópticos G01M 11/00; gafas G02C; aparatos o disposiciones para tomar fotografías, para proyectarlas o para verlas G03B; lentes acústicas G10K 11/30; "óptica" electrónica e iónica H01J; "óptica" de rayos X H01J, H05G 1/00; elementos ópticos combinados estructuralmente con tubos de descarga eléctrica H01J 5/16, H01J 29/89, H01J 37/22; "óptica" de microondas H01Q; combinación de elementos ópticos con receptores de televisión H04N 5/72; sistemas o disposiciones ópticas en los sistemas de televisión en colores H04N 9/00; disposiciones para la calefacción especialmente adaptadas a superficies transparentes o reflectoras H05B 3/84). › G02B 21/00 Microscopios (oculares G02B 25/00; sistemas polarizantes G02B 27/28; microscopios de medida G01B 9/04; micrótomos G01N 1/06; técnicas o aparatos de sonda de barrido G01Q). › Estructura del bastidor o pedestal.
PDF original: ES-2617664_T3.pdf
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