PULIDOR DE LODOS PERFECCIONADO, USANDO AGITACION ULTRASONICA.
EL MORTERO, EN UN PULIDOR DE MORTERO, SE AGITA ULTRASONICAMENTE DURANTE LA PULIMENTACION PARA DESALOJAR RESIDUOS INCRUSTADOS Y TIERRA ARENOSA DE LA ALMOHADILLA DE PULIMENTACION,
PERFECCIONANDO CON ELLO LA UNIFORMIDAD DE LA EXTRACCION DEL MATERIAL, LA DURACION DE LA ALMOHADILLA, Y EVITANDO ARAÑAZOS Y DEFECTOS SOBRE LA SUPERFICIE QUE SE ESTA PULIMENTANDO. EL METODO RESULTA PARTICULARMENTE UTIL EN APLICACIONES EN LAS QUE SE USA EL PULIMENTADO DEL MORTERO PARA HACER PLANARES CAPAS DEPOSITADAS SOBRE OBLEAS SEMICONDUCTORAS (MONOCRISTALES SEMICONDUCTORES USADOS COMO SUBSTRATOS EN LA PRODUCCION DE CIRCUITOS INTEGRADOS), EN LAS QUE LA CARENCIA DE UNIFORMIDADES CAUSADA POR TAL MATERIAL INCRUSTADO PUDIERA AFECTAR AL RENDIMIENTO DEL PROCESO. SE DESCRIBE EL APARATO PARA APLICAR ENERGIA ULTRASONICA AL MORTERO, DE FORMA QUE TAL ENERGIA INCIDA SOBRE LA ALMOHADILLA.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: AT&T CORP..
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 32 AVENUE OF THE AMERICAS,NEW YORK, NY 10013-2412.
Inventor/es: MILLER, GABRIEL LORIMER, WAGNER, ERIC RICHARD.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 12 de Junio de 1996.
Clasificación Internacional de Patentes:
- B24B1/04 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B24 TRABAJO CON MUELA; PULIDO. › B24B MAQUINAS, DISPOSITIVOS O PROCEDIMIENTOS PARA TRABAJAR CON MUELA O PARA PULIR (por electroerosión B23H; tratamiento por chorro abrasivo B24C; grabado o pulido electrolítico C25F 3/00 ); REAVIVACION O ACONDICIONAMIENTO DE SUPERFICIES ABRASIVAS; ALIMENTACION DE MAQUINAS CON MATERIALES DE RECTIFICAR, PULIR O ALISAR. › B24B 1/00 Procedimientos de trabajo con muela o de pulido; Utilización de equipos auxiliares en relación con estos procedimientos (procedimientos caracterizados por el empleo de máquinas, o dispositivos particulares, ver los lugares apropiados para estas máquinas o dispositivos). › sometiendo las herramientas de trabajar con muela o de pulir, o los productos abrasivos o de pulido a vibraciones, p. ej. trabajo con muela con frecuencia ultrasonora (implicando el empleo de recipientes oscilantes o vibrantes B24B 31/06; superacabado de superficies de trabajo, p. ej. por medio de bloques abrasivos animados de un movimiento alternativo con alta frecuencia B24B 35/00).
- B24B29/02 B24B […] › B24B 29/00 Máquinas o dispositivos para pulir superficies de piezas por medio de herramientas hechas de materiales blandos o flexibles con o sin aplicación de productos de pulido sólidos o líquidos (para trabajar con muela o pulir por medio de cintas B24B 21/00). › concebidos para piezas particulares.
- B24B37/04 B24B […] › B24B 37/00 Máquinas o dispositivos de afinado de superficies; Accesorios (B24B 3/00 tiene prioridad). › diseñado para afinar superficies planas.
- H01L21/304 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › Tratamiento mecánico, p. ej. trituración, pulido, corte.
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