TECNICA DE CONTROL IN SITU Y APARATO PARA LA DETECCION QUIMICA/MECANICA DE PUNTO FINAL DE PLANARIZACION.

ESTA INVENCION FACILITA UNA TECNICA DE CONTROL IN SITU Y APARATO PARA LA DETECCION QUIMICA/MECANICA DE PUNTO FINAL DE PLANARIZACION EN EL PROCESO DE FABRICACION DE DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES U OPTICOS.

LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES U OPTICOS REQUIERE A MENUDO SUPERFICIES PLANAS LISAS, BIEN EN LA SUPERFICIE DE UN DISCO QUE SE ESTA FABRICANDO O EN ALGUNA ETAPA INTERMEDIA P.EJ. UNA SUPERFICIE DE UNA CAPA INTERCALADA. EN ESTA INVENCION SE REALIZA LA DETECCION POR MEDIO DE LA MEDIDA CAPACITIVA DEL ESPESOR DE UNA CAPA DIELECTRICA EN UN SUSTRATO CONDUCTOR. LA MEDIDA INCLUYE LA CAPA DIELECTRICA, UNA ESTRUCTURA DE ELECTRODO PLANA, Y UN LIQUIDO QUE SEPARA EL ARTICULO Y LA ESTRUCTURA DEL ELECTRODO. UNA SUSPESION ABRILLANTADORA ACTUA COMO LIQUIDO DE SEPARACION. LA ESTRUCTURA DEL ELECTRODO INCLUYE UN ELECTRODO DE MEDIDA, UN AISLANTE QUE RODEA EL ELECTRODO DE MEDIDA, UN ELECTRODO DE GUARDA Y OTRO AISLANTE QUE RODEA AL ELECTRODO DE GUARDA. EN LA MEDIDA UN VOLTAJE DE CONDUCCION SUMINISTRADO AL ELECTRODO DE MEDIDA, Y EN UN MONTAJE AUTOELEVADOR A UN ELECTRODO DE GUARDA QUE LO RODEA, MIDIENDO ASI LA CAPACITANCIA DE LA CAPA DIELECTRICA DE INTERES SIN EFECTO DE INTERFERENCIA DESDE LA RESISTENCIA A LA PERDIDA DE DERIVACION. EL PROCESO Y EL APARATO SON UTILES NO SOLO PARA MEDIR EL ESPESOR DE CAPAS DIELECTRICAS EN SUSTRATOS CONDUCTORES IN SITU, DURANTE EL ABRILLANTADO DE PLANARIZACION, SIN TAMBIEN PARA MEDIR EL ESPESOR DIELECTRICO DE SUSTRATOS EN OTROS PROCESOS, P.EJ. MEDIR EL ESPESOR DE CAPA DIELECTRICA ANTES O DESPUES DE UN PROCESO DE CORROSION.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: AT&T CORP..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 32 AVENUE OF THE AMERICAS,NEW YORK, NY 10013-2412.

Inventor/es: MILLER, GABRIEL LORIMER, WAGNER, ERIC RICHARD.

Fecha de Publicación: 1 de Noviembre de 1994.

Fecha Concesión Europea: 7 de Septiembre de 1994.

Clasificación Internacional de Patentes:

B23Q15/007 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B23 MAQUINAS-HERRAMIENTAS; TRABAJO DE METALES NO PREVISTO EN OTRO LUGAR. › B23Q PARTES CONSTITUTIVAS, DISPOSITIVOS O ACCESORIOS DE MAQUINAS HERRAMIENTAS, p. ej. DISPOSITIVOS PARA COPIAR O CONTROLAR (herramientas del tipo utilizado en tornos o máquinas de agujerear B23B 27/00 ); MAQUINAS HERRAMIENTAS DE UTILIZACION GENERAL, CARACTERIZADAS POR LA ESTRUCTURA DE CIERTAS PARTES CONSTITUTIVAS O DISPOSITIVOS; COMBINACIONES O ASOCIACIONES DE MAQUINAS PARA TRABAJAR EL METAL NO DESTINADAS A UN TRABAJO EN PARTICULAR. › B23Q 15/00 Control automático o regulación del movimiento de avance, de la velocidad de corte o de la posición tanto de la herramienta como de la pieza. › durante la acción de la herramienta sobre la pieza.
B24B37/04 B […] › B24 TRABAJO CON MUELA; PULIDO. › B24B MAQUINAS, DISPOSITIVOS O PROCEDIMIENTOS PARA TRABAJAR CON MUELA O PARA PULIR (por electroerosión B23H; tratamiento por chorro abrasivo B24C; grabado o pulido electrolítico C25F 3/00 ); REAVIVACION O ACONDICIONAMIENTO DE SUPERFICIES ABRASIVAS; ALIMENTACION DE MAQUINAS CON MATERIALES DE RECTIFICAR, PULIR O ALISAR. › B24B 37/00 Máquinas o dispositivos de afinado de superficies; Accesorios (B24B 3/00 tiene prioridad). › diseñado para afinar superficies planas.

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