Inyector para un sistema de deposición de vapor bajo vacío.
(07/05/2014) Inyector para un sistema de deposición de vapor bajo vacío, comprendiendo dicho inyector:
- un conducto de inyección apto para recibir materiales vaporizados procedentes de una fuente de evaporación bajo vacío, y
- un difusor que comprende una pluralidad de boquillas para difundir dichos materiales vaporizados al interior de una cámara de deposición bajo vacío, comprendiendo cada boquilla un canal apto para conectar dicho conducto de inyección a dicha cámara de deposición,
caracterizado por que dicho difusor presenta una distribución de boquillas que varía espacialmente, comprendiendo por lo menos una de dichas boquillas por lo menos un inserto de difusor desmontable…
Inyector para una fuente de evaporación al vacío.
(14/11/2013) Inyector para una fuente de evaporación al vacío, que comprende:
- un conducto de inyección que presenta un eje longitudinal y que comprende un orificio de entrada que puede ser conectado a una fuente de evaporación al vacío y por lo menos una boquilla destinada adifundir un material vaporizado, presentando dicha boquilla una cara lateral y una cara superior ,caracterizado porque:
- dicha boquilla comprende un canal principal que emerge hacia el exterior de dicho conducto deinyección y por lo menos un canal de alimentación lateral que conecta el interior del conducto deinyección con el…
Aparato de epitaxia de haz molecular para producir pastillas de material semiconductor.
(29/08/2012) Aparato de epitaxia de haz molecular para producir pastillas de material semiconductor que comprende un sustrato cubierto por una capa de material, comprendiendo además dicho dispositivo:
- una cámara de crecimiento que rodea un área de procesado , comprendiendo dicha cámara de crecimiento una pared lateral , una pared inferior y una pared superior , presentando cada una de ellas una superficie interior,
- un panel criogénico principal que tiene al menos una parte lateral que cubre la superficie interior de dicha pared lateral ,
- un soporte de muestras apto para soportar dicho sustrato, comprendiendo dicho soporte de muestras unos medios de calentamiento,
- por lo menos una celda de efusión apta para evaporar átomos o moléculas de elementos o compuestos,
- un inyector de gas apto para…
Aparato para depositar una película delgada de material sobre un sustrato y procedimiento de regenaración para un aparato de este tipo.
(02/05/2012) Aparato para depositar una película delgada de material sobre un sustrato que comprende:
- una cámara de vacío,
- un portamuestras dispuesto dentro de dicha cámara de vacío, pudiendo soportar dicho portamuestras dicho sustrato,
- un inyector de gas que puede inyectar un precursor gaseoso al interior de la cámara de vacío, pudiendoreaccionar una parte de dicho precursor gaseoso en la superficie del sustrato,
- por lo menos un panel criogénico colocado dentro de la cámara de vacío y que puede adsorber una partede dicho precursor gaseoso que no ha reaccionado en la superficie del sustrato, y liberar dicho precursorgaseoso…
CAMARA DE EVAPORACION DE MATERIALES BAJO VACIO CON BOMBEO DIFERENCIAL.
(16/04/2008) Cámara de evaporación de materiales, que comprende una cámara de vacío , una primera unidad de bombeo para bombear dicha cámara y unas fuentes de material, caracterizada porque: - una pared que puede asegurar una estanqueidad total o parcial al vacío, delimita en el seno de la cámara de vacío un primer volumen bombeado por dicha primera unidad de bombeo y un segundo volumen bombeado por una segunda unidad de bombeo , - algunas de dichas fuentes de material que tienen un eje principal están dispuestas en el segundo volumen y otras fuentes están dispuestas en el primer volumen , - dicha pared presenta unos vaciados , estando cada vaciado centrado sobre el eje principal de una de las fuentes de material que tiene un eje principal , y porque - la cámara comprende unos medios para obturar…
CONECTOR PARA PASAMUROS ELECTRICO DE ALTO AMPERAJE.
(16/03/2007) Conector para pasamuros eléctrico de recinto bajo vacío con alto amperaje, comprendiendo el pasamuros por lo menos una clavija que tiene un primer eje principal , comprendiendo el conector un primer conjunto que comprende un casquillo que tiene un segundo eje principal , estando dicho casquillo destinado a ser fijado sobre un cable eléctrico , un primer aislante destinado a recubrir por lo menos parcialmente el casquillo , comprendiendo el conector un segundo conjunto que comprende un segundo aislante y unos medios de fijación para fijar el segundo aislante sobre el pasamuros eléctrico , rodeando dicho segundo aislante dicha clavija…