METODO PARA LA PREPARACION DE UNA PELICULA SEMICONDUCTORA DELGADA.

(16/12/1991). Solicitante/s: THE BOC GROUP PLC. Inventor/es: ROBILLARD, JEAN JULES ACHILLE.

METODO PARA PREPARAR UNA PELICULA DELGADA DE UN MATERIAL SEMICONDUCTOR SOBRE UN SUSTRATO EN EL CUAL SE GENERAN MICROGOTAS CARGADAS DEL MATERIAL SEMICONDUCTOR O UN CONSTITYENTE DEL MISMO POR EXTRACCION ELECTRODINAMICA (EHD) DE LAS GOTAS DESDE UN MENISCO FORMADO EN UNA PUNTA ALARGADA DE UNA BOQUILLA QUE CONTIENE EL MATERIAL EN ESTADOFUNDIDO. LA EXTRACCION EHD SE PRODUCE BAJO LA INFLUENCIA DE UN ALTO CAMPO ELECTRICO PRODUCIDO POR UN ELECTRODO EXTRACTOR ADYACENTE A LA PUNTA DE LA BOQUILLA PARA FORMAR UN HAZ TIPO CINTA BIDIMENSIONAL O CAPA DE MICROGOTAS CARGADAS. EL HAZ BIDIMENSIONAL SE DIRIGE SOBRE EL BORDE POSTERIOR DE UN BLANCO SOPORTADO POR UN SUSTRATO MOVIL DE MANERA QUE SE FORMA SOBRE DICHO SUSTRATO UNA PELICULA DE MATERIAL SEMICONDUCTOR POR DEPOSICION DE LAS MICROGOTAS SOBRE EL BORDE POSTERIOR DEL BLANCO MOVIL.