Compensación de temperatura para resonador MEMS de silicio.
(13/05/2015) Método de compensación de variaciones de frecuencia inducidas térmicamente en un resonador microelectromecánico que tiene una frecuencia de resonancia deseada, en el que el resonador microelectromecánico comprende una viga oscilante y un contraelectrodo , y en el que la viga oscilante está separada del contraelectrodo por una distancia de trabajo (d), comprendiendo el método: determinar la frecuencia de funcionamiento real del resonador micromecánico; y aplicar una rigidez compensatoria a la viga oscilante en relación con la frecuencia de funcionamiento real y la frecuencia de resonancia deseada de modo que el resonador proporciona la frecuencia de resonancia deseada a lo largo…