ESTRUCTURA MULTICAPA DE PELICULA DELGADA, COMPONENTE QUE COMPRENDE DICHA ESTRUCTURA Y SU METODO DE DEPOSICION.

(05/10/2010) Una estructura multicapa de película delgada resistente a la corrosión y que tiene una velocidad de desgaste baja y un coeficiente de fricción bajo, que comprende: • de 1 a 1.000 períodos, de preferencia de 1 a 500 períodos, comprendiendo un período de 2 a 100 capas (A, B), de preferencia de 2 a 10, capas, estando compuesta cada capa (A, B) del período de carbono, silicio e hidrógeno, y conteniendo del 10 al 30% hidrógeno, variando la relación atómica Si/C de 0,3 a 1,5, y • opcionalmente, una capa superficial funcional (FSL)