PROCEDIMIENTO PARA LA DETERMINACION DEL ESPESOR DE UNA ESTRUCTURA DE CAPAS MULTIPLES FINAS.
Procedimiento para la determinación del espesor de al menos una capa (3 a 6) sobre un substrato (1),
que presenta estructuras geométricas (7) que conducen a difracción de la luz, a través de - medición de valores de la intensidad de la luz de reflexión y/o de transmisión de orden de difracción cero en función de la longitud de las ondas, - cálculo de los valores de la intensidad de la luz de reflexión y/o de transmisión utilizando un modelo de iteración, en el que los parámetros de las capas individuales y las dimensiones geométricas de las estructuras geométricas (7) del substrato (1) son introducidos como otros parámetros, y - modificación de los parámetros de las capas hasta la consecución de una coincidencia entre los valores medidos y los valores calculados.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: STEAG HAMATECH AG.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: FERDINAND-VON-STEINBEIS-RING 10,75447 STERNENFELS.
Inventor/es: HERTLING, ROLF, SCHAUDIG, WOLFGANG, WINDELN, WILBERT.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 6 de Noviembre de 1999.
Fecha Concesión Europea: 12 de Enero de 2005.
Clasificación Internacional de Patentes:
- B29D17/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B29 TRABAJO DE LAS MATERIAS PLASTICAS; TRABAJO DE SUSTANCIAS EN ESTADO PLASTICO EN GENERAL. › B29D FABRICACION DE OBJETOS PARTICULARES A PARTIR DE MATERIAS PLASTICAS O DE SUSTANCIAS EN ESTADO PLASTICO (fabricación de gránulos B29B 9/00; fabricación de preformas B29B 11/00). › Fabricación de soportes de registro que tienen ranuras o surcos finos, p. ej. registro sobre discos para reproducción por aguja o sobre cilindros; Fabricación de registros sobre discos a partir de una matriz.
- G01B11/06 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida del espesor.
- G01B11/22 G01B 11/00 […] › para la medida de la profundidad.
- G11B7/26 G […] › G11 REGISTRO DE LA INFORMACION. › G11B REGISTRO DE LA INFORMACION BASADO EN UN MOVIMIENTO RELATIVO ENTRE EL SOPORTE DE REGISTRO Y EL TRANSDUCTOR (registro de valores medidos según un procedimiento que no necesita el uso de un transductor para la reproducción G01D 9/00; aparatos de registro o de reproducción que utilizan una banda marcada por un procedimiento mecánico, p. ej. una banda de papel perforada, o que utilizan soportes de registro individuales, p. ej. fichas perforadas o fichas magnéticas G06K; transferencia de datos de un tipo de soporte de registro a otro G06K 1/18; circuitos para el acoplamiento de la salida de un dispositivo de reproducción a un receptor radio H04B 1/20; cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos o sus circuitos H04R). › G11B 7/00 Registro o reproducción por medios ópticos, p. ej. registro utilizando un haz térmico de radiación óptica, reproducción utilizando un haz óptico de potencia reducida; Soportes de registro correspondientes (G11B 11/00, G11B 13/00 tienen prioridad). › Aparatos o procesos especialmente establecidos para la fabricación de soportes de registro.
- H01L21/66 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › Ensayos o medidas durante la fabricación o tratamiento.
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Finlandia, Chipre, Oficina Europea de Patentes.
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