MAQUINA DE PULIMENTACION PARA PLAQUETAS SEMICONDUCTORAS.
UNA MAQUINA PULIDORA DE PLAQUITAS DE SEMICONDUCTORES (10) QUE TIENE UN CONJUNTO DE ALMOHADILLAS PULIDORAS (14) Y UN PORTAPLAQUITAS (12) QUE INCLUYE UN SOPORTE (24) COLOCADO AL LADO DEL CONJUNTO DE ALMOHADILLAS PULIDORAS (14).
ESTE SOPORTE (24) TIENE UN ORIFICIO DE ENTRADA DE FLUIDOS (36) QUE SE PUEDE CONECTAR A UNA FUENTE DE FLUIDO A UNA PRESION MAYOR, AL MENOS UN ORIFICIO DE SALIDA DE LOS FLUIDOS (38) QUE SE PUEDE CONECTAR A UN CANAL DE DESCARGA DE FLUIDOS A UNA PRESION MENOR Y AL MENOS UNA SUPERFICIE DE SOPORTE (40) SOBRE LA QUE FLUYE EL FLUIDO DESDE LA FUENTE HASTA EL CANAL DE DESCARGA. LA ALMOHADILLA PULIDORA (14) QUEDA SOPORTADA POR EL FLUIDO SOBRE LA SUPERFICIE DE SOPORTE (40) DE MODO QUE PUEDA REALIZAR UN MOVIMIENTO DE BAJA FRICCION RESPECTO AL SOPORTE (24). SE PUEDEN UTILIZAR SOPORTES DE FLUIDOS SIMILARES EN EL PORTAPLAQUITAS (12). HAY UNA SERIE DE RANURAS GENERALMENTE PARALELAS COLOCADAS SOBRE LA SUPERFICIE DE SOPORTE DE UNA CORREA PARA REDUCIR EL HIDROPLANEO DE UNA CORREA PULIDORA. UN SISTEMA DE ACCIONAMIENTO POR TURBINA HACE ROTAR A UN MANDRIL DE PLAQUITAS QUE HAY EN UN PORTAPLAQUITAS (12).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: ONTRAK SYSTEMS, INC.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 1753 SOUTH MAIN STREET,MILPITAS, CALIFORNIA 95035.
Inventor/es: WELDON, DAVID EDWIN, NAGORSKI, BOGUSLAW A., TALIEH, HOMAYOUN.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 12 de Julio de 2000.
Clasificación Internacional de Patentes:
- B24B21/06 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B24 TRABAJO CON MUELA; PULIDO. › B24B MAQUINAS, DISPOSITIVOS O PROCEDIMIENTOS PARA TRABAJAR CON MUELA O PARA PULIR (por electroerosión B23H; tratamiento por chorro abrasivo B24C; grabado o pulido electrolítico C25F 3/00 ); REAVIVACION O ACONDICIONAMIENTO DE SUPERFICIES ABRASIVAS; ALIMENTACION DE MAQUINAS CON MATERIALES DE RECTIFICAR, PULIR O ALISAR. › B24B 21/00 Máquinas o dispositivos que utilizan bandas o cintas abrasivas para trabajar con muela o pulir (máquinas portátiles con cintas abrasivas B24B 23/06 ); Accesorios a este efecto. › provistos de órganos con superficie de contacto limitada para empujar la correa contra la pieza que va a ser trabajada, p. ej. provistos de zapatas que barren completamente la superficie que va a ser trabajada con muela (B24B 21/12 tiene prioridad).
- B24B37/04 B24B […] › B24B 37/00 Máquinas o dispositivos de afinado de superficies; Accesorios (B24B 3/00 tiene prioridad). › diseñado para afinar superficies planas.
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