PROCESO PARA TRATA POR EJEMPLO LA SUPERFICIE DE UN SUSTRATO POR PROYECCION DE UN FLUJO DE PLASMA, Y DISPOSITIVO PARA LA APLICACION DEL PROCESO.
PROCESO PARA TRATA POR EJEMPLO LA SUPERFICIE DE UN SUSTRATO POR PROYECCION DE UN FLUJO DE PLASMA,
Y DISPOSITIVO PARA LA APLICACION DEL PROCESO LA INVENCION SE REFIERE A UN PROCESO Y A UN DISPOSITIVO PARA TRATAR LA SUPERFICIE DE UN SUSTRATO DEPOSITANDO EN EL POR EJEMPLO UN REVESTIMIENTO POR PROYECCION DE UN FLUJO DE PLASMA, DEL TIPO QUE CONSISTE EN CREAR UN ARCO ELECTRICO EN UNA CAMARA (2) ENTRE UN CATODO (5) Y UN ANODO (1), EN INTRODUCIR UN GAS INERTE EN LA CAMARA (2) PARA QUE SE IONICE A SU PASO A TRAVES DEL ARCO ELECTRICO PARA FORMA UN PLASMA A ALTA TEMPERATURA, Y EN EXPULSAR AL EXTERIOR DE LA CAMARA EL PLASMA A TRAVES DE UN BOQUILLA DE EYECCION (3) CUYO ORIFICIO DE SALIDA (4) TIENE FORMA DE RANURA PARA PROYECTAR PARTICULAS DE UN MATERIAL CONSTITUTIVO DEL REVESTIMIENTO QUE PASA A ESTADO FUNDIDO AL CONTACTO CON EL PLASMA, SOBRE EL SUSTRATO Y FORMA SOBRE ESTE UN REVESTIMIENTO. EL ARCO ELECTRICO CREADO ENTRE EL ANODO (1) Y EL CATODO (5) SE EXTIENDE SEGUN UN EJE SENSIBLEMENTE PARALELO AL EJE DE LA RANURA DE SALIDA (4) DE LA BOQUILLA DE EYECCION (3), EL GAS INERTE SE INTRODUCE EN LA CAMARA (2) SIGUIENDO VARIAS DIRECCIONES RADIALES (F1) RESPECTO DEL EJE DEL ARCO ELECTRICO Y EL MATERIAL A PROYECTAR ES LLEVADO POR UN GAS PORTADOR EN CONDUCTOS (12) QUE DESEMBOCAN POR EJEMPLO EN EL INTERIOR DE LA BOQUILLA DE EYECCION (3)
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: AGENCE SPATIALE EUROPEENNE.
Nacionalidad solicitante: Francia.
Dirección: 8-10, RUE MARIO NIKIS,F-75738 PARIS CEDEX 15.
Inventor/es: LANG, MARTIN HERMANN.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 28 de Junio de 1995.
Clasificación Internacional de Patentes:
- B05B7/22 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B05 PULVERIZACION O ATOMIZACION EN GENERAL; APLICACION DE MATERIALES FLUIDOS A SUPERFICIES, EN GENERAL. › B05B APARATOS DE PULVERIZACION; APARATOS DE ATOMIZACION; TOBERAS O BOQUILLAS (mezcladores de pulverización con toberas B01F 5/20; procedimientos para aplicar líquidos u otros materiales fluidos a superficies por pulverización B05D). › B05B 7/00 Aparatos de pulverización para descargar líquidos u otros materiales fluidos procedentes de varias fuentes, p. ej. líquido y aire, polvo y gas (B05B 3/00, B05B 5/00 tienen prioridad). › por vía eléctrica, p. ej. por un arco.
- H05H1/34 ELECTRICIDAD. › H05 TECNICAS ELECTRICAS NO PREVISTAS EN OTRO LUGAR. › H05H TECNICA DEL PLASMA (tubos de haz iónico H01J 27/00; generadores magnetohidrodinámicos H02K 44/08; producción de rayos X utilizando la generación de un plasma H05G 2/00 ); PRODUCCION DE PARTICULAS ACELERADAS ELECTRICAMENTE CARGADAS O DE NEUTRONES (obtención de neutrones a partir de fuentes radiactivas G21, p. ej. G21B, G21C, G21G ); PRODUCCION O ACELERACION DE HACES MOLECULARES O ATOMICOS NEUTROS (relojes atómicos G04F 5/14; dispositivos que utilizan la emisión estimulada H01S; regulación de la frecuencia por comparación con una frecuencia de referencia determinada por los niveles de energía de moléculas, de átomos o de partículas subatómicas H03L 7/26). › H05H 1/00 Producción del plasma; Manipulación del plasma (aplicación de la técnica del plasma a reactores de fusión termonuclear G21B 1/00). › Detalles, p. ej. electrodos, toberas.
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