COMPUESTOS METALOORGANICOS DE APLICACION EN EL CAMPO ELECTRONICO.
COMPUESTOS METALOORGANICOS EN FORMA DE FENILARSINA DE APLICACION EN EL CAMPO ELECTRONICO COMO MATERIALES PARA LOS PROCESOS MO - VPE O MO - CVD O MOMBE,
ASI COMO PARA LA IMPLANTACION DE IONES O PARA EL DOPING IN SITU DE POLISILICIO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: PREUSSAG PURE METALS GMBH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: RAMMELSBERGER STRASSE 2, D-38640 GOSLAR.
Inventor/es: HOFMANN, HARTMUT.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 5 de Enero de 1994.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C07F9/74 QUIMICA; METALURGIA. › C07 QUIMICA ORGANICA. › C07F COMPUESTOS ACICLICOS, CARBOCICLICOS O HETEROCICLICOS QUE CONTIENEN ELEMENTOS DISTINTOS DEL CARBONO, HIDROGENO, HALOGENOS, OXIGENO, NITROGENO, AZUFRE, SELENIO O TELURO (porfirinas que contienen metal C07D 487/22; compuestos macromoleculares C08). › C07F 9/00 Compuestos que contienen elementos de los grupos 5 o 15 del sistema periódico. › aromáticos.
- H01L21/365 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › utilizando la reducción o la descomposición de un compuesto gaseoso que dan un condensado sólido, es decir, un depósito químico.
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