METODO PARA LA FABRICACION DE UN CABEZAL DE DESCARGA DE LIQUIDO, SUBSTRATO PARA CABEZAL PARA DESCARGA DE LIQUIDO Y METODO PARA SU FABRICACION.

Procedimiento para la fabricación de un cabezal de descarga de líquido, que comprende: una etapa para la preparación de un sustrato de Si

(1) que tiene una primera superficie como superficie de formación de un elemento y una segunda superficie como superficie posterior opuesta a la primera superficie; una etapa para efectuar un tratamiento térmico con el calentamiento de dicho sustrato de Si (1); una etapa para la formación de una película de SiO2 (7) sobre la segunda superficie de dicho sustrato de Si (1); una etapa para la formación de una sección (8) de abertura para el comienzo del ataque químico en dicha película de SiO2 (7) para exponer dicho sustrato de Si (1); una etapa para la formación sobre la primera superficie de dicho sustrato de Si de un elemento (2) generador de energía para la descarga de líquido para la generación de energía para la descarga de líquido; y una etapa para la formación de una abertura (9) de suministro de líquido que pasa a través de dicho sustrato de Si y que se comunica con la primera superficie desde dicha sección (8) de abertura para el comienzo del ataque químico mediante el ataque químico anisotrópico del Si utilizando dicha película de SiO2 como una máscara, después de dicha etapa de tratamiento térmico; y caracterizado porque:

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: CANON KABUSHIKI KAISHA.

Nacionalidad solicitante: Japón.

Dirección: 3-30-2 SHIMOMARUKO,OHTA-KU, TOKYO.

Inventor/es: KOYAMA,SHUJI,CANON KABUSHIKI KAISHA, OZAKI,TERUO,CANON KABUSHIKI KAISHA, NAGATA,SHINGO,CANON KABUSHIKI KAISHA.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 8 de Agosto de 2002.

Fecha Concesión Europea: 17 de Octubre de 2007.

Clasificación PCT:

  • SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES > IMPRENTA; MAQUINAS COMPONEDORAS DE LINEAS; MAQUINAS... > MAQUINAS DE ESCRIBIR; MECANISMOS DE IMPRESION SELECTIVA,... > Máquinas de escribir o mecanismos de impresión... > B41J2/16 (Fabricación de boquillas)

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania.

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METODO PARA LA FABRICACION DE UN CABEZAL DE DESCARGA DE LIQUIDO, SUBSTRATO PARA CABEZAL PARA DESCARGA DE LIQUIDO Y METODO PARA SU FABRICACION.