Procedimiento de preparación de cerámicas, cerámicas así obtenidas y sus usos concretamente como diana para pulverización catódica.

Cerámica constituida por un material inorgánico de base dopado por un elemento J,

teniendo dicho material inorgánico de base un punto de fusión superior a 300ºC, estando dicho dopante constituido por un único material inorgánico o por una mezcla de al menos dos materiales inorgánicos que tienen un efecto dopante sobre el material inorgánico de base, estando dicha cerámica representada por la fórmula (I)

Eα-x'kJx'mOβ-x'(k-m)/22-□x'(k-m)/2 en la que:

- EαkOβ2- designa el material inorgánico de base;

- E designa al menos un metal de los grupos I a VIII de la tabla periódica de los elementos, y k designa el grado de oxidación medio de E en la fórmula I;

- J representa al menos un metal de los grupos I a VIII de la tabla periódica, y m designa el grado de oxidación medio del elemento J que está parcialmente sustituido en E, m es un número entero positivo tal que m < k;

- α, k y β son números positivos comprendidos entre 1 y 20, tales que αk - 2β = 0;

- x' designa la tasa de sustitución y es un número positivo tal que x' < α;

- □ representa una vacante aniónica;

estando dicha cerámica caracterizada por una estructura cristalina de tipo bixbyíta y porque el material inorgánico de base es In2O3, presentando la cerámica una conductividad superior al 70% de la conductividad teórica, y porque comprende porcentajes molares de SnO2 y ZnO comprendidos cada uno entre el 3 y el 15%, con un porcentaje de ZnO superior o igual al de SnO2,

estando dicha cerámica caracterizada porque presenta al menos una de las siguientes propiedades:

i) una conductividad eléctrica macroscópica, medida según el método de las cuatro puntas ("Four Probe measurements") con un aparato Keithley (modelo 2400 Source Meter), que es superior a 300 siemens por cm;

ii) una densidad aparente mejorada, medida según el método del porosímetro de mercurio, comprendida entre 6 y 7,1 g/cm3;

iii) una superficie (total) superior a 5 cm2;

iv) un porcentaje mejorado de irregularidades de juntas de granos, medido según el método de microscopio electrónico de alta resolución que es inferior al 30% del de una cerámica correspondiente preparada sin adición de elemento dopante mediante el método convencional; y

v) un tamaño de los poros presentes en la cerámica, medido mediante el método del MEB de alta resolución, que está comprendido entre 0,1 y 0,8 micrómetros.