SENSOR DE PRESIÓN CAPACITIVO CON CAPACITANCIAS DE REFERENCIA Y MÉTODO DE OBTENCIÓN DEL MISMO.
El sensor (1) de presión capacitivo con capacitancias de referencia (13,
13') comprende una cavidad hermética (12) sellada al vacío dispuesta sobre una capa aislante en donde están insertados un primer electrodo sensor (9) y dos electrodos de referencia (10, 10') que no incrementan el área total del sensor. Un segundo electrodo sensor (8) integrado en una membrana flexible cubre la cavidad (12). Cuando una fuerza externa deforma la membrana, la capacitancia (7) entre los electrodos sensores (8) y (9) varía mientras que las capacitancias (13, 13') entre el electrodo (8) y los electrodos de referencia (10, 10') sirven de referencia porque la deformación de la membrana cerca de los electrodos (10,10') es mínima. El sensor comprende también dos muros (11) que conectan el electrodo (8) con tierra blindando así el sensor frente a interferencias electromagnéticas externas. El método de obtención del sensor permite su integración monolítica en circuitos microelectrónicos.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/ES2016/070788.
Solicitante: CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC).
Nacionalidad solicitante: España.
Inventor/es: SACRISTAN RIQUELME,Jordi, SEGURA QUIJANO,Fredy Enrique, BOHÓRQUEZ REYES,Juan Carlos, ACHURY FLORIAN,Álvaro Uriel, UNIGARRO CALPA,Edgar Alberto, RAMIREZ RODRÍGUEZ,Fernando.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- B81B3/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B81 TECNOLOGIA DE LAS MICROESTRUCTURAS. › B81B DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA, p. ej. DISPOSITIVOS MICROMECANICOS (elementos piezoeléctricos, electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/00). › Dispositivos que tienen elementos flexibles o deformables, p.ej. que tienen membranas o láminas elásticas (B81B 5/00 tiene prioridad).
- B81C1/00 B81 […] › B81C PROCEDIMIENTOS O APARATOS ESPECIALMENTE ADAPTADOS PARA LA FABRICACION O EL TRATAMIENTO DE DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA (fabricación de microcápsulas o de microbolas B01J 13/02; procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de elementos piezoeléctricos o electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/22). › Fabricación o tratamiento de dispositivos o de sistemas en o sobre un substrato (B81C 3/00 tiene prioridad).
- G01L19/04 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01L MEDIDA DE FUERZAS, TENSIONES, PARES, TRABAJO, POTENCIA MECANICA, RENDIMIENTO MECANICO O DE LA PRESION DE LOS FLUIDOS (pesado G01G). › G01L 19/00 Detalles o accesorios de aparatos para la medida de la presión permanente o cuasi-permanente de un medio fluyente en la medida en que estos detalles o accesorios no son especiales de los tipos particulares de manómetros. › Medios para compensar los efectos de las variaciones de temperatura.
- G01L9/12 G01L […] › G01L 9/00 Medida de la presión permanente, o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente por elementos eléctricos o magnéticos sensibles a la presión; Transmisión o indicación por medios eléctricos o magnéticos del desplazamiento de los elementos mecánicos sensibles a la presión, utilizados para medir la presión permanente o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente (medida de las diferencias entre dos o más valores de la presión G01L 13/00; medida simultánea de dos o más valores de la presión G01L 15/00). › haciendo uso de las variaciones de capacidad.
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