METODO Y APARATO PARA CONTROL DE CARGA SUPERFICIAL POR IMPLANTACION DE IONES.
UN NEUTRALIZADOR (16) DE HACES DE IONES. ELECTRONES DE GRAN ENERGIA (40) SE DIRIGEN A TRAVES DE UNA ZONA O REGION DE NEUTRALIZACION DE HACES DE IONES QUE CONTIENE UN GAS IONIZABLE.
CUANDO LOS ELECTRONES DE GRAN ENERGIA CHOCAN CON LAS MOLECULAS GASEOSAS, IONIZAN LAS MOLECULAS DEL GAS Y PRODUCEN ELECTRONES DE BAJA ENERGIA, QUE SON ATRAPADOS POR UN HAZ DE IONES CARGADOS POSITIVAMENTE (14). CUANDO LOS ELECTRONES DE GRAN ENERGIA SALEN DE LA ZONA DE NEUTRALIZACION SON REBOTADOS A LA ZONA DE NEUTRALIZACION POR UN CONDUCTOR CILINDRICO (30) SESGADO PARA REBOTAR LOS ELECTRONES DE GRAN ENERGIA Y UNA REGILLA DE ACELERACION (50) PARA ACELERAR LOS ELECTRONES HACIA LA ZONA DE NEUTRALIZACION DEL HAZ.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: EATON CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: EATON CENTER, 1111 SUPERIOR AVENUE, CLEVELAND OHIO 44114.
Inventor/es: FARLEY, MARVIN.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 8 de Septiembre de 1993.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/02 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Detalles.
- H01J37/317 H01J 37/00 […] › para modificar las propiedades de objetos o para aplicarles revestimientos de capa delgada, p. ej. implantación de iones (H01J 37/36 tiene prioridad).
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