Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga...

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CIP: C23C14/00, Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H 01 J 37/00) [4]

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  • Revestimiento por evaporación en vacío, por pulverización catódica o implantación de iones [4]

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Inventos patentados en esta categoría

  1. 1.-

    Un artículo revestido que comprende: un revestimiento proporcionado sobre un sustrato de vidrio , comprendiendo dicho revestimiento desde el sustrato de vidrio hacia fuera: a) al menos una capa dieléctrica ; b) una primera capa de contacto ; c) una primera capa reflectante de IR ; d) una segunda capa de contacto , dicha primera capa reflectante de IR estando en contacto con cada una de dicha primera y segunda capa de contacto; e) al menos una capa dieléctrica ; f) una tercera capa de contacto ; g) una segunda...

  2. 2.-

    Herramienta de corte con un cuerpo principal y un revestimiento multicapa aplicado sobre el mismo, en donde al menos dos capas superpuestas del revestimiento multicapa contienen o están compuestas por óxido metálico de diferentes metales de los elementos de los grupos IVa a VIIa del sistema periódico de elementos, y/o de aluminio y/o de silicio, caracterizada por que las al menos dos capas de óxido metálico superpuestas están dispuestas de forma directamente adyacente, sin capa(s) intermedia(s) y se fabrican sucesivamente por medio de diferentes procedimientos PVD, seleccionados de...

  3. 3.-

    Producto recubierto que comprende: un sistema de capas soportado por un sustrato de cristal, comprendiendo el sistema de capas desde el sustrato hacia el exterior: una capa de nitruro de silicio SixNy enriquecido con Si en la que x/y se encuentra comprendida entre 0, 76 y 1, 5 en por lo menos una parte de la capa; una primera capa de contacto; una capa reflectora de IR.

  4. 4.-

    Un objetivo de pulverización que comprende: un tubo catódico giratorio que alberga al menos un imán en su interior; una capa de material objetivo proporcionada sobre la superficie exterior del tubo catódico ; una capa adherente proporcionada sobre la superficie exterior del tubo catódico para situarse entre el tubo catódico y la capa de material objetivo ; donde un grosor de la capa adherente es mayor cuanto más próximo al menos a una parte de extremo del tubo catódico que en la parte central del tubo catódico .

  5. 5.-

    Sensor de condensación, y procedimiento de fabricación de dicho sensor. Permite obtener un sensor de condensación transparente a un coste de fabricación sustancialmente menor al de los actuales sensores de condensación, y en el cual se emplean compuestos orgánicos basados en la química del azufre, que permiten modificar las propiedades de la superficie del sensor y hacerlo más sensible al depósito de agua, incrementando la señal eléctrica que proporciona el sensor de condensación ante la condensación de vapor...

  6. 6.-

    SENSOR DE CONDENSACIÓN, Y PROCEDIMIENTO DE FABRICACIÓN DE DICHO SENSOR

    . Ver ilustración. Solicitante/s: UNIVERSIDAD AUTONOMA DE MADRID. Inventor/es:

    Permite obtener un sensor de condensación transparente a un coste de fabricación sustancialmente menor al de los actuales sensores de condensación, y en el cual se emplean compuestos orgánicos basados en la química del azufre, que permiten modificar las propiedades de la superficie del sensor y hacerlo más sensible al depósito de agua, incrementando la señal eléctrica que proporciona el sensor de condensación ante la condensación de vapor de agua, y en consecuencia haciendo al sensor más robusto al impacto del ruido eléctrico y simplificando el procesado de la señal. Cabe destacar además que este sensor de condensación permite ser integrado en sustratos transparentes y/o flexibles, disimulando su presencia y en consecuencia favoreciendo su aplicación en espejos o ventanas.

  7. 7.-

    Un artículo recubierto que tiene un color negro que comprende un sustrato que tiene una superficie y que tienesobre al menos una porción de la superficie un recubrimiento en multi-capas que comprende, por orden: una primera capa de oxicarburo de un metal refractario que tiene un contenido de oxígeno y un contenido decarbono en donde el contenido de oxígeno es mayor que el contenido de carbono, una segunda capa de color encima de la primera capa de color, en donde la segunda capa de color comprende unacapa...

  8. 8.-

    Procedimiento para la producción de una capa de óxido de zinc conductora y transparente sobre un sustratomediante bombardeo iónico en fase gaseosa reactivo, en donde el proceso presenta una zona de histéresis y, - el calentador para el sustrato se ajusta de manera se ajusta una temperatura del sustrato por encima de200ºC, y - se ajusta una tasa de deposición dinámica mayor que 50 nm*m/min, la cual corresponde a una tasa dedeposición estática mayor que 190 nm/min, caracterizado por las etapas: - se utiliza...

  9. 9.-

    Un método de fabricación de un artículo recubierto, el método que consiste en: producir un sustrato de vidrio; utilizar pirólisis de llama para depositar al menos una capa sobre el sustrato de vidrio;y formar una capa antigrabado encima del sustrato de vidrio sobre la capa depositadapor pirólisis de llama, en la que la pirólisis de llama se utiliza para depositar una capaque comprende óxido de silicio sobre el sustrato de vidrio, y en la que la pirólisis dellama utiliza gas TEOS que se introduce al menos en un quemador para depositar lacapa que comprende óxido de silicio y donde el artículo recubierto es una ventana, enla que la capa antigrabado comprende oxicarburo...

  10. 10.-

    Un procedimiento para recubrir artículos cerámicos vitrificados con materiales a base de metales por la técnica dedeposición física en fase vapor (PVD), en el que después de situar en el ánodo los artículos cerámicos a recubrir,mientras que los materiales a base de metales son situados en el cátodo, en la cámara de vacío, el procedimientorespectivamente comprende las etapas de: evacuar el aire en la cámara de vacío en las fases primera y segunda; limpiar la superficie catódica por el plasma depositado en la cámara de vacío en la tercera fase; someter lasuperficie cerámica a un procedimiento de ataque químico por iones en las fases cuarta y quinta; recubrir de manerano reactiva...

  11. 12.-

    REVESTIMIENTO DE CAPA DE BARRERA Y PROCEDIMIENTO DE FABRICACIÓN

    . Ver ilustración. Solicitante/s: ASOCIACION DE LA INDUSTRIA NAVARRA AIN. Inventor/es:

    Revestimiento de capa de barrera y procedimiento de fabricación, para recubrir un sustrato base , comprendiendo dicha capa de barrera un grupo de, al menos, una capa inorgánica (2a) y una capa polimérica , donde una capa de interfase rica en metal (2ay) está dispuesta entre la capa inorgánica (2a) y la capa polimérica.

  12. 13.-

    Revestimiento en material basado en plata que comprende un apilamiento de una capa principal y de una película delgada oxidada , caracterizado porque la película delgada oxidada tiene un espesor comprendido entre 10 nm y 1 !my porque presenta un gradiente de concentración de plata decreciente desde la interfase entre la película delgada y la capa principal hasta la superficie libre (2a) de la película delgada .

  13. 14.-

    Lámina con recubrimiento de bronce metálico de platino, procedimiento de obtención y sus aplicaciones.La producción de los bronces metálicos del platino requiere de procedimientos químicos costosos que conducen a la producción de cantidades reducidas de estos compuestos y mezclas. La actual invención proporciona una lámina con recubrimiento de bronce metálico de platino y método para sintetizar estos compuestos, así como, para depositar estas mezclas en superficies grandes en forma de recubrimiento con un alto grado de especificidad, siendo este un factor determinante en aplicaciones concretas. El modo de obtención de los recubrimientos...

  14. 15.-

    DISPOSITIVO PARA RECUBRIR UN SUSTRATO CON AYUDA DE LA DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR.

    . Solicitante/s: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG. Inventor/es:

    EN UN DISPOSITIVO PARA RECUBRIMIENTO DE UN SUBSTRATO CON LA AYUDA DE PLASMA CVD (FIG.1), SE DISPONE DE UNA FUENTE DE CORRIENTE ALTERNA, QUE SE UNE CON DOS CATODOS MAGNETRON, DONDE UNO DE LOS POLOS DE LA FUENTE DE CORRIENTE ALTERNA ESTA CONECTADO EN UN CATODO Y EN EL OTRO POLO SE CONECTA EL OTRO CATODO A TRAVES DE UNA CONDUCCION DE ABASTECIMIENTO. DISPONIENDOSE CADA UNO DE AMBOS CATODOS EN UN COMPARTIMENTO PROPIO, DONDE CADA COMPARTIMENTO INCLUYE ENTRE ELLOS UN TERCER COMPARTIMENTO CONECTADO A UNA FUENTE DE VACIO. AMBOS COMPARTIMENTOS DISPUESTOS EXTERIORMENTE SE UNEN A TRAVES DE ABERTURAS O ESPACIOS EN LAS PAREDES UNO CON OTRO, DONDE EL SUBSTRATO DISPUESTO EN EL TERCER COMPARTIMENTO ESTA EQUIPADO CON UNA FUENTE CVD, QUE SE CONFIGURA ESENCIALMENTE A PARTIR DE UNA ENTRADA DE GAS REACTIVO Y UN COLIMADOR.

  15. 16.-

    Procedimiento de fabricación de plaquitas de caras paralelas que consta de los pasos: a) evaporación de un antiadherente y deposición del mismo sobre un soporte para generar una capa de antiadherente a una presión inferior a la presión atmosférica; b) evaporación y deposición de por lo menos una capa de producto sobre la capa del antiadherente a una presión inferior a la presión atmosférica; y c) disolución de la capa de antiadherente en el disolvente y obtención de una suspensión, en la que está presente por lo menos una capa...

  16. 17.-

    PROCEDIMIENTO PARA LA PRODUCCION DE CAPAS AMORFAS MACIZAS SOBRE CUERPOS MOLDEADOS METALICOS MACIZOS.

    . Solicitante/s: INSTITUT FUR FESTKIRPER- UND WERKSTOFFORSCHUNG DRESDEN E.V. Inventor/es:

    Procedimiento para la fabricación de capas macizas amorfas sobre cuerpos moldeados metálicos, caracterizado por el hecho de que las aleaciones que son apropiadas bajo condiciones de solidificación rápida para la formación de cristales macizos metálicos, o los elementos de aleación que son apropiados bajo condiciones de solidificación rápida para la formación de cristales macizos metálicos junto a los elementos del material del cuerpo moldeado, son aplicados en estado fundido mediante radiación de gran energía directamente en el cuerpo moldeado metálico para la producción de una capa amorfa con un espesor de > 20 mi-m hasta varios milímetros, o bien son aleados sobre la superficie del cuerpo moldeado, de manera que la solidificación rápida de la masa fundida se consigue aprovechando el autoenfriamiento del cuerpo moldeado y/o por una refrigeración externa al cuerpo moldeado.

  17. 18.-

    Procedimiento para la fabricación de laminillas, que comprende las etapas siguientes: (a) precipitación del material de la laminilla desde un dispositivo de generación de la condensación por vacío en el interior de una cámara de condensación al vacío y de un material de recubrimiento para el desprendimiento, desde un dispositivo de generación del recubrimiento para el desprendimiento del interior de dicha cámara de condensación al vacío, sobre la superficie de un dispositivo de transporte situado en el interior de dicha cámara de condensación al vacío para proporcionar capas alternadas de dicho material de recubrimiento para el desprendimiento desde el dispositivo de generación del recubrimiento de desprendimiento...

  18. 19.-

    HERRAMIENTA CON UN SISTEMA DE CAPA PROTECTORA.

    . Solicitante/s: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT. Inventor/es:

    Una herramienta con un cuerpo de herramienta y un sistema de capa resistente al desgaste, comprendiendo dicho sistema de capa al menos una capa de MeX, en la que -Me comprende titanio y aluminio; -X es al menos uno de entre nitrógeno y carbono; y en la que dicha capa tiene un valor QI QI >1; en la que QI = I /I ; y dicho cuerpo de herramienta es de uno de los materiales -acero de alta velocidad (HSS); -carburo cementado, y en la que dicha herramienta no es una fresa radial de carburo sólido ni tampoco una fresa de punta de bola de carburo sólido, -con lo que el valor de I es al menos 20 veces el valor de ruido medio en intensidad.

  19. 20.-

    PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA LA PRODUCCION DE PLAQUITAS CON CARAS PLANAS Y PARALELAS.

    . Ver ilustración. Solicitante/s: WEINERT, JASMIN. Inventor/es:

    Procedimiento para la fabricación de plaquitas planoparalelas que comprende los pasos: a) revestimiento de una sección de superficie de un soporte rígido, giratorio alrededor de un eje, que se encuentra en una cámara de vacío, con un agente separador y, a continuación, con por lo menos una capa de producto, b) transporte de la sección de superficie mediante giro del soporte a continuación del paso a), c) separación de la capa de producto de la sección de superficie del soporte, que se encuentra en la cámara de vacío, a continuación del paso b) mediante disolución o fusión de la capa de agente separador de tal manera que se produzcan plaquitas planoparalelas.

  20. 21.-

    APARATO Y METODO PARA EL RECUBRIMIENTO DE SUBSTRATOS CON PARTICULAS DE RESINA EN POLVO CARGADAS INDUCTIVAMENTE.

    . Solicitante/s: ENEXUS CORPORATION. Inventor/es:

    UN APARATO PARA MEJORAR LA CARGA ELECTROSTATICA DESARROLLADA EN UNA COMPOSICION DE POLVO DE RESINA PARA EL REVESTIMIENTO ELECTROSTATICO DE OBJETOS SOLIDOS Y EL METODO DE APLICACION DE LOS MISMOS. EL APARATO COMPRENDE UN ELECTRODO PARA CARGAR LAS PARTICULAS DE POLVO POR INDUCCION O CONDUCCION DE MANERA QUE LAS PARTICULAS DE POLVO TENGAN UNA RESISTENCIA DE ENTRE 10{SUP,9}Y 10{SUP,13} OHM. METROS EN UN 20% DE HUMEDAD RELATIVA Y PULVERIZAR LAS PARTICULAS DE POLVO CARGADAS POR UNA BOQUILLA EN UN OBJETO SOLIDO PUESTO A TIERRA AL QUE SE ADHIEREN ANTES DE QUE SE PRODUZCA LA FUSION TERMICA PARA LOGRAR UNA ACABADO PERMANENTE.

  21. 22.-

    HERRAMIENTAS REVESTIDAS DE DIAMANTE Y SU PROCEDIMIENTO DE FABRICACION.

    . Solicitante/s: KENNAMETAL INC.. Inventor/es:

    UNA HERRAMIENTA REVESTIDA CON DIAMANTE Y UN PROCEDIMIENTO PARA SU FABRICACION. EL PROCEDIMIENTO COMPRENDE UN PASO DE SINTERIZACION. EN ESTE PASO, EL SUSTRATO DE LA HERRAMIENTA ESTA SINTERIZADO EN UNA ATMOSFERA Y DURANTE UN TIEMPO Y A UNA TEMPERATURA DE MANERA QUE SE PROMUEVE UN CRECIMIENTO DE GRANO EXAGERADO, SUPERFICIAL QUE IMPRIME UNA RUGOSIDAD SUPERFICIAL QUE PUEDE SERVIR COMO LUGAR DE ANCLAJE DURANTE UN PASO DE REVESTIMIENTO DE DIAMANTE SUBSIGUIENTE QUE SE REALIZA POR UNA TECNICA DE DEPOSICION DE VAPOR. LA HERRAMIENTA REVESTIDA CON DIAMANTE COMPRENDE UNA SUPERFICIE DE SUSTRATO EN GRANO LARGO, Y UNA GRAN FUERZA DE ENLACE ENTRE EL REVESTIMIENTO DE DIAMANTE Y LA SUPERFICIE DE SUSTRATO.

  22. 23.-

    CONDUCTOR TRANSPARENTE Y PROCEDIMIENTO DE FABRICACION.

    . Solicitante/s: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE. Inventor/es:

    Sustrato de polímero recubierto, al menos en parte, por una película conductora transparente basada en óxido de indio, en óxido de estaño y en óxido de germanio, en el que la relación de las concentraciones en peso de SnO2 a GeO2 en la película es de aproximadamente 1 a aproximadamente 10 y en el que el óxido de estaño representa aproximadamente 0, 5 % a aproximadamente 10 % en peso en la película, y el óxido de germanio representa de aproximadamente 0, 1 a aproximadamente 5 % en peso en la película.

  23. 24.-

    PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA LA FABRICACION DE PIGMENTOS COLORANTES.

    . Ver ilustración. Solicitante/s: WEINERT, HILMAR, DIPL.-ING. Inventor/es:

    Procedimiento para la fabricación de pigmentos colorantes reflectantes, en el que sobre una capa reflectora se aplica por lo menos una capa que ocasiona una variación del color de la luz reflejada, caracterizado porque la capa se aplica en un procedimiento PVD en atmósfera de vacío de 10-1 a 10-3 Pa con un grosor de capa de n x d = 4 hasta 3X-4, siendo la longitud de onda, "n" el índice de refracción y "d" el grosor geométrico, y consta de un material que forma capas transparentes, denominado en lo sucesivo material transparente, con un índice de refracción predeterminado superior a 1, 8, al que se le añade y se mezcla un metal absorbente de luz simultáneamente en el mismo proceso PVD y en cantidad preseleccionable.

  24. 25.-

    REVESTIMIENTO TERMOCROMICO.

    . Solicitante/s: MEYER, BRUNO K. Inventor/es:

    Recubrimiento termocrómico, en particular para vidrio, que comprende una capa de óxido de vanadio que contiene además volframio y flúor.

  25. 26.-

    COMPOSICION PARA PRODUCIR UN REVESTIMIENTO PROTECTOR EN GRADIENTE SOBRE UN SUSTRATO METALICO POR EVAPORACION Y CONDENSACION DE HAZ ELECTRONICO BAJO VACIO.

    . Solicitante/s: UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION INTERNATIONAL CENTER FOR ELECTRON BEAM TECHNOLOGIES OF E.O. PATON ELECTRIC WELDING INSTITUTE. Inventor/es:

    Una composición para la producción de un revestimiento protector en gradiente sobre un substrato metálico mediante evaporación por haz electrónico y condensación a vacío, basada en una mezcla de metales y óxidos metálicos que tienen diferente presión de vapor a la temperatura de evaporación, caracterizada porque la composición consiste en Sn y Cr como metales, y óxido de cromo y óxido de aluminio como óxidos metálicos, con la siguiente proporción de los componentes (% en peso): Sn: 1-13 Cr: 1-40 Cr2O3: 0,1-10 Al2O3: resto.

  26. 27.-

    REVESTIMIENTO QUE COMPRENDE CAPAS DE COMPOSICIONES DE CARBONO TIPO DIAMANTE Y DE NANOCOMPUESTOS TIPO DIAMANTE.

    . Ver ilustración. Solicitante/s: N.V. BEKAERT S.A.. Inventor/es:

    LA INVENCION SE REFIERE A UN SUSTRATO RECUBIERTO, AL MENOS PARCIALMENTE, POR UN REVESTIMIENTO QUE COMPRENDE VARIAS CAPAS ESTRATIFICADAS , COMPRENDIENDO CADA ESTRUCTURA UNA PRIMERA CAPA DE COMPOSICION DE NANOCOMPUESTO DE TIPO DIAMANTE PROXIMA AL SUSTRATO, LA CUAL COMPRENDE RETICULAS DE INTERPENETRACION DE C:H Y SI:O; UNA SEGUNDA CAPA DE UNA COMPOSICION DE CARBONO DE TIPO DIAMANTE, DISPUESTA SOBRE DICHA PRIMERA CAPA; UNA CAPA DE TRANSICION ENTRE DICHAS PRIMERA Y SEGUNDA CAPAS, QUE COMPRENDE UNA MEZCLA DE DICHO NANOCOMPUESTO DE TIPO DIAMANTE Y DICHA COMPOSICION DE CARBONO DE TIPO DIAMANTE. CUANDO EL NUMERO DE ESTRUCTURAS ESTRATIFICADAS ES SUPERIOR A UNO, DICHO REVESTIMIENTO COMPRENDE UNA CAPA INTERMEDIA QUE COMPRENDE UNA MEZCLA DE DICHO CARBONO DE TIPO DIAMANTE Y DE DICHAS COMPOSICIONES NANOCOMPUESTAS DE TIPO DIAMANTE, INTERCALADA ENTRE CADA PAR DE ESTRUCTURAS ESTRATIFICADAS CONSECUTIVAS . ASIMISMO, LA INVENCION SE REFIERE A UN PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE DICHO SUSTRATO RECUBIERTO.

  27. 28.-

    LA DEPOSICION AYUDADA CON PLASMA DE UN REVESTIMIENTO SUPERFICIAL INTERIOR MUY FINO DENTRO DE UN ENVASE DE PLASTICO O DE METAL SE CONSIGUE UTILIZANDO SUBSTANCIAS INORGANICAS, INERTES, INSOLUBLES, TALES COMO SILICE, U OXIDOS DE METAL INSOLUBLES, O UTILIZANDO MEZCLAS DE SUBSTANCIAS, POR EJEMPLO DE METALES, OXIDOS DE METAL, SALES DE METAL Y RADICALES DE CARBONO Y/O ORGANICOS. DE MANERA QUE SE FORMA UNA CELOSIA O ESTRUCTURA FLEXIBLE, UTILIZANDO DIFERENTES CAPAS DE TALES ESTRUCTURAS. ESTO COMPRENDE LA COLOCACION DEL ENVASE EN UN CERRAMIENTO EN EL QUE SE HA OBTENIDO EL VACIO, LA COLOCACION DE UN VAPORIZADOR QUE CONTENGA EL MATERIAL INORGANICO, INERTE DE UNA CONSTITUCION PREDETERMINADA DENTRO DEL ENVASE,...

  28. 29.-

    INCREMENTO DEL PLASMA INDUCIDO POR LA TOPOLOGIA PARA MEJORAR LA UNIFORMIDAD DEL GRABADO.

    . Solicitante/s: LAM RESEARCH CORPORATION. Inventor/es:

    UN ELECTRODO DE DESCARGA DE PLASMA QUE TIENE UNA SUPERFICIE FRONTAL CON UNA PORCION CENTRAL DE LA MISMA QUE INCLUYE SALIDAS PARA DESCARGAR GAS REACTIVO QUE FORMA UN PLASMA Y UNA PORCION PERIFERICA QUE RODEA SUSTANCIALMENTE LAS SALIDAS. LA PORCION PERIFERICA TIENE AL MENOS UN HUECO PARA AUMENTAR LOCALMENTE UNA DENSIDAD DEL PLASMA FORMADO POR EL ELECTRODO . EL HUECO PUEDE ESTAR FORMADO EN UN INSERTO REEMPLAZABLE Y EL ELECTRODO PUEDE ESTAR HECHO DE UN CRISTAL UNICO DE SILICIO.

  29. 30.-

    SISTEMA DE CAPAS DE INTERFERENCIA.

    . Ver ilustración. Solicitante/s: LEYBOLD SYSTEMS GMBH. Inventor/es:

    UNAS CAPAS DIELECTRICAS QUE ACTUAN OPTICAMENTE, POR EJEMPLO DE SIO SUB,2}, AL SUB,2}O SUB,3}, ZRO SUB,2}, TIO SUB,2}, ZNO SUB,2}, SON SEPARADAS MEDIANTE UN PROCEDIMIENTO DE DESALOJO POR BOMBARDEO IONICO CON UN TIPO DE CRECIMIENTO DE LA CAPA 4 NM/S EN LOS SUBSTRATOS. ESTAS CAPAS DE OXIDO METALICO DESALOJADAS POR BOMBARDEO MUESTRAN UN INDICE DE ROTURA DE ENTRE 2,55 Y 2,60. LAS CAPAS DE TIO SUB,2} APLICADAS CON UN PLASMA DE BOMBARDEO ALIMENTADO CON TENSION ALTERNA, SE CRISTALIZAN COMO ESTRUCTURA DE RUTILO SOBRE LOS SUBSTRATOS, COMO POR EJEMPLO UN SI-WAVER 2, Y MUESTRAN UNA ELEVADA CONSISTENCIA FRENTE A LA ACCION DE SUSTANCIAS QUIMICAS REACTIVAS. LAS CAPAS DE OXIDO METALICO SON IDONEAS PARA LA FABRICACION DE SISTEMAS DE CAPAS LOW-E, ASI COMO PARA LA FABRICACION DE CAPAS DE CONTROL SOLAR. LA FRECUENCIA ALTERNA DE LA CORRIENTE ELECTRICA QUE ABASTECE EL PLASMA DE BOMBARDEO ES PREFERENTEMENTE DE ENTRE 10 KHZ Y 80 KHZ.

  30. 31.-

    DISTRIBUIDOR DE GAS PARA UN APARATO DE DEPOSICION CATODICA EXTRAAXIAL.

    . Ver ilustración. Solicitante/s: E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY. Inventor/es:

    SE EXPONE UN DISPOSITIVO MEJORADO PARA LA DEPOSICION DE COMPUESTOS DE OXIDOS INORGANICOS MEDIANTE UN PULVERIZADOR MAGNETRONICO DESCENTRADO, QUE CONSTA DE UNA PISTOLA DE BOMBARDEO IONICO, UN ANTICATODO , SUSTRATO , MEDIOS PARA EL FLUJO DE GAS Y UNA CAMARA DE CONFINAMIENTO. LA MEJORA CONSISTE EN UN DISTRIBUIDOR HUECO DE FLUJO DE GAS SITUADO ENTRE EL SUSTRATO Y EL ANTICATODO Y QUE TIENE AL MENOS UNA ENTRADA DE GAS Y AL MENOS UNA ABERTURA DE SALIDA EN EL DISTRIBUIDOR, ESTANDO DICHA ABERTURA DE SALIDA SITUADA DE MANERA QUE DIRIJA EL FLUJO DE GAS LEJOS DEL ANTICATODO Y EN LA DIRECCION DEL SUSTRATO. TAMBIEN SE EXPONE EL PROCESO PARA LA REFERIDA DEPOSICION.

  31. 32.-

    EN UN METODO PARA PREPARA UNA PANTALLA Y/O ANILLO DE APRIETE PREVIO AL USO EN UN PROCESO DE DEPOSICION DE VAPOR FISICO, LA PANTALLA Y/O ANILLO DE APRIETE SE INYECTA PRIMERO EN ESCORIA UTILIZANDO UN POLVO ABRASIVO, A CONTINUACION SE TRATA EN UNA CAMARA DE LIMPIEZA ULTRASONICA PARA ELIMINAR PARTICULAS SUELTAS Y DESPUES UN CHISPORROTEADO CON ACIDO O TRATATO CON UN PLASMA. EL CHISPORROTEO O EL TRATAMIENTO DE PLASMA SIRVE A SOLTAR CONTAMINACION QUE PUEDE FORMAR UNA BARRERA DE DIFUSION Y PREVENIR LOS DEPOSITOS A PARTIR DE EL...