SENSOR PARA CONVERTIR UNA DISTANCIA A OPTICA Y ADEMAS A ENERGIA ELECTRICA, Y APARATO DE EXPLORACION DE SUPERFICIE QUE USA EL MISMO.
UN CUERPO SENSOR (1) ES FORMADO COMO UNA GUIA DE ONDAS LUMINOSA PARA LUZ LASER (2).
UN LADO DE SALIDA DE LUZ (10) PARA LUZ DIFRACTADA DENTRO DEL SENSOR (1) ES COLOCANDO EN UNA SUPERFICIE (6) DE ELLO ORIENTADA DESDE UN CUERPO ACOMPASADO (M). UNA PARTICULA DE DETECCION (15) ES COLOCADA EN LA SUPERFICIE (5) DEL SENSOR (1) QUE ORIENTA EL CUERPO (M). TIENE UNA FORMA SUBSTANCIALMENTE CONVEXA Y REDONDEADA Y UNA DIMENSION MAYOR QUE ES MAS PEQUEÑA QUE LA LONGITUD DE ONDA DE LA LUZ (2). EL CUERPO (M) ESTA COLOCADO EN EL CAMPO DE PROXIMIDAD OPTICA DE LA PARTICULA DE DETECCION (15). EL ULTIMO TIENE UNA DIMENSION MAYOR DE 5 A 500NM. Y PREFERIBLEMENTE DE 20 A 100NM. UN DETECTOR (11) CONVIERTE LA ENERGIA OPTICA DE LA LUZ DIFRACTADA A UNA SEÑAL DE DETECTOR ELECTRICA. UNA PELICULA DELGADA CONTINUA (16) ES PROVISTA COMO UN CALENTADOR PARA EL SENSOR (5). SUBSTANCIALMENTE CUBRE LA PARTICULA DE DETECCION (15) Y AL MENOS LA PARTE DE LA SUPERFICIE (5) DEL SENSOR (1) EN LA PROXIMIDAD DE LA PARTICULA (15). TIENE UN GROSOR QUE ES MAS PEQUEÑO QUE UNA MITAD DE DICHA LONGITUD DE ONDA PREDETERMINADA. PREFERIBLEMENTE ES FORMADO DE ORO Y TIENE UN GROSOR DE MENOS DE 10NM. EL SENSOR ES USADO PARA FINALMENTE CONVERTIR UNA DISTANCIA A UNA CANTIDAD DESCRITA.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
LEICA INDUSTRIEVERWALTUNG GMBH.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: OLD ORCHARD ROAD, ARMONK, N.Y. 10504.
Inventor/es: DURIG, URS THEODOR, DR., FISCHER, ULRICH CHRISTIAN, DR., POHL, WOLFGANG DIETER, DR.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 28 de Agosto de 1991.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B11/30 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida de la rugosidad o la irregularidad de superficies.
- G02B21/00 G […] › G02 OPTICA. › G02B ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS (G02F tiene prioridad; elementos ópticos especialmente adaptados para ser utilizados en los dispositivos o sistemas de iluminación F21V 1/00 - F21V 13/00; instrumentos de medida, ver la subclase correspondiente de G01, p. ej. telémetros ópticos G01C; ensayos de los elementos, sistemas o aparatos ópticos G01M 11/00; gafas G02C; aparatos o disposiciones para tomar fotografías, para proyectarlas o para verlas G03B; lentes acústicas G10K 11/30; "óptica" electrónica e iónica H01J; "óptica" de rayos X H01J, H05G 1/00; elementos ópticos combinados estructuralmente con tubos de descarga eléctrica H01J 5/16, H01J 29/89, H01J 37/22; "óptica" de microondas H01Q; combinación de elementos ópticos con receptores de televisión H04N 5/72; sistemas o disposiciones ópticas en los sistemas de televisión en colores H04N 9/00; disposiciones para la calefacción especialmente adaptadas a superficies transparentes o reflectoras H05B 3/84). › Microscopios (oculares G02B 25/00; sistemas polarizantes G02B 27/28; microscopios de medida G01B 9/04; micrótomos G01N 1/06; técnicas o aparatos de sonda de barrido G01Q).
- G11B7/09 G […] › G11 REGISTRO DE LA INFORMACION. › G11B REGISTRO DE LA INFORMACION BASADO EN UN MOVIMIENTO RELATIVO ENTRE EL SOPORTE DE REGISTRO Y EL TRANSDUCTOR (registro de valores medidos según un procedimiento que no necesita el uso de un transductor para la reproducción G01D 9/00; aparatos de registro o de reproducción que utilizan una banda marcada por un procedimiento mecánico, p. ej. una banda de papel perforada, o que utilizan soportes de registro individuales, p. ej. fichas perforadas o fichas magnéticas G06K; transferencia de datos de un tipo de soporte de registro a otro G06K 1/18; circuitos para el acoplamiento de la salida de un dispositivo de reproducción a un receptor radio H04B 1/20; cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos o sus circuitos H04R). › G11B 7/00 Registro o reproducción por medios ópticos, p. ej. registro utilizando un haz térmico de radiación óptica, reproducción utilizando un haz óptico de potencia reducida; Soportes de registro correspondientes (G11B 11/00, G11B 13/00 tienen prioridad). › con disposiciones para desplazar el rayo luminoso o su plano focal con el fin de mantener la alineación relativa del rayo luminoso y del soporte de registro durante la operación de transducción, p. ej. para compensar las irregularidades superficiales o para seguir las pistas del soporte.
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