REVESTIMIENTO ANTIRREFRACCION DE BANDA ANCHA, PARA DISPOSITIVO FOTODETECTOR DE ANTIMONIDE DE INDIO, Y METODO DE OBTENCION DEL MISMO.

UN REVESTIMIENTO (30) ANTIRREFRACCION DE BANDA ANCHA, DE CUATRO CAPAS, SE FORMA SOBRE UNA SUPERFICIE

(22) RECEPTORA DE LUZ, DE UN FOTODETECTOR (10) DE ANTIMONIDE (INSB) DE INDIO PARA HACER POSIBLE LA DETECCION DE LUZ EN LONGITUDES DE ONDA VISIBLES Y DE RAYOS INFRARROJOS. LAS CAPAS (30A, 30B, 30C, 30D) TIENEN CADA UNA UN GROSOR OPTICO DE, APROXIMADAMENTE, UN CUARTO DE LONGITUD DE ONDA, EN UNA LONGITUD DE ONDA DE REFERENCIA DE 1'6 MICRONES. LOS INDICES DE REFRACCION DE LAS CAPAS (30A, 30B, 30C, 30D) ESTAN ESCALONADOS EN DISMINUCION, DESDE LA SUPERFICIE (22), TENIENDO VALORES APROXIMADOS DE 3'2 / 2'6 / 1'9 / 1'45 RESPECTIVAMENTE. LA SEGUNDA CAPA (30B) ESTA FORMADO PREFERENTEMENTE POR SUBOXIDO DE SILICIO (SIOO X 1) MEDIANTE DEPOSICION DE HAZ DE ELECTRONES DE SILICIO EN UN RELLENO DE OXIGENO, PARA OBTENER UN INDICE DE REFRACCION ENTRE LOS INDICES DEL SILICIO Y DEL MONOXIDO DE SILICIO. UNA CAPA (26) FINA DE PASIVACION, DE GERMANIO O NITRURO DE SILICIO, SE FORMA SOBRE LA SUPERFICIE (22), POR DEBAJO DEL REVESTIMIENTO (30) ANTIRREFRACCION, PARA INHIBIR UN EFECTO DE DESTELLO EN LONGITUDES DE ONDA DE RAYOS INFRARROJOS, DESPUES DE LA EXPOSICION A LOS RAYOS ULTRAVIOLETA Y/O LUZ VISIBLE.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: SANTA BARBARA RESEARCH CENTER.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 75 COROMAR DRIVE, B1/106,GOLETA CALIFORNIA 93117.

Inventor/es: .

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 12 de Marzo de 1997.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > Dispositivos semiconductores sensibles a la radiación... > H01L31/0216 (Revestimientos (H01L 31/041  tiene prioridad))
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