Recipientes portátiles estancos a presión para almacenar una rebanada de semiconductor en un ambiente gaseoso protector.

Un recipiente portátil estanco a presión (100) que comprende: un depósito de casete

(123) de forma prácticamente paralelepípeda, constituido fundamentalmente por un alojamiento en forma de caja (102) que define un espacio interior (103) que comprende una abertura de acceso principal (104) sobre la cara lateral delantera, adaptado a la transferencia de entrada y de salida de un objeto, estando provisto dicho alojamiento de una pared interna (106) que separa dicho espacio interior (103) en dos regiones: una primera región (103A) que se denomina depósito y una segunda región (103B) que se denomina receptáculo que está destinado a recibir dicho objeto, estando provista dicha pared interna de medios de agujeros adaptados para permitir la circulación de una gas entre dichas primera y segunda regiones, un medio de válvula de inyección de gas (129) insertado en una abertura hecha en dicho alojamiento en comunicación con dicho depósito, estando adaptado dicho medio de inyección de gas para ser unido a una instalación de alimentación de gas neutro ultra puro comprimido (700) afin de establecer una primera presión estática o nominal determinada p en el interior de dicho espacio interior que presenta una presión diferencial positiva Wp con relación al ambiente exterior af n de crear una sobrepresión entre estos, un medio de soporte (108) destinado a mantener firmemente y con precisión un objeto en el interior de dicho receptáculo, y un medio de puerta (124) que se adapta de manera estanca a dicha abertura de acceso principal (104).

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: OLD ORCHARD ROAD,ARMONK, N.Y. 10504.

Inventor/es: .

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 23 de Abril de 1997.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS... > H01L21/00 (Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas)
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