PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA AUMENTAR LA SEGURIDAD DEL SISTEMA EN UN PROCEDIMIENTO DE ESCRITURA DE LASER.

PARA AUMENTAR LA SEGURIDAD EN EL CONOCIMIENTO DE DATOS DE REFERENCIA EN UN PROCEDIMIENTO DE ESCRITURA LASER PARA LA FABRICACION DE INTERRUPTORES INTEGRADOS,

SE DEPOSITAN LAS TRAMAS QUE SE ENCUENTRAN SOBRE LOS CHIPS EN UN ALMACEN DE MUESTRAS DE VIA (5). CON AYUDA DE UN CODIGO DE ENTRADA SE PREPARA UNA MUESTRA SINCRONIZADAMENTE PARA EXPLORACION DE LA PIEZA DE TRABAJO Y LA SEÑAL BINARIA CONVENIENTE DIGITAL QUE LLEGA PURA DESDE EL DETECTOR DE RAYOS LASER EXPLORADORES (1) SE PRUEBA DE CONFORMIDAD CON LAS MUESTRAS ALMACENADAS. LOS RESULTADOS SE UTILIZAN PARA EL POSICIONAMIENTO DE VIA DEL GENERADOR DE PATRONES LASER. ASI SE EVITA QUE EL MANDO DEL GENERADOR DE PATRONES LASER REACCIONE DE FORMA FALSA EN LA ASPEREZA SUPERFICIAL DE LA TRAMA. COMO CONSECUENCIA DEL CONOCIMIENTO MEJORADO DE LOS DATOS DE REFERENCIA PUEDEN SELECCIONARSE MENORES ANCHOS DE LAS CAVIDADES DISPUESTAS. LA TRAMA CONSTA PREFERENTEMENTE DE UN METAL LLEVADO SOBRE LA PIEZA DE TRABAJO, TAMBIEN PUEDE NO SER METALIZADO O UTILIZARSE MEDIANTE UNA IMAGEN PROYECTADA DE LA TRAMA FORMADA.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: LASARRAY HOLDING AG.

Nacionalidad solicitante: Suiza.

Dirección: , CH-8512 THUNDORF.

Inventor/es: KEMPTER, MEINRAD, GLAUSER, PAUL.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 6 de Marzo de 1991.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • B23K26/04 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES.B23 MAQUINAS-HERRAMIENTAS; TRABAJO DE METALES NO PREVISTO EN OTRO LUGAR.B23K SOLDADURA SIN FUSION O DESOLDEO; SOLDADURA; REVESTIMIENTO O CHAPADO POR SOLDADURA O SOLDADURA SIN FUSION; CORTE POR CALENTAMIENTO LOCALIZADO, p. ej. CORTE CON SOPLETE; TRABAJO POR RAYOS LASER (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión de metales B21C 23/22; realización de guarniciones o recubrimientos por moldeo B22D 19/08; moldeo por inmersión B22D 23/04; fabricación de capas compuestas por sinterización de polvos metálicos B22F 7/00; disposiciones sobre las máquinas para copiar o controlar B23Q; recubrimiento de metales o recubrimiento de materiales con metales, no previsto en otro lugar C23C; quemadores F23D). › B23K 26/00 Trabajo por rayos láser, p. ej. soldadura, corte o taladrado. › Alineación, apuntado o focalización automáticos del haz de rayos láser, p. ej. utilizando la luz difundida de vuelta.
  • H01L23/54

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