METODO Y APARATO PARA CONTROLAR IMPEDANCIAS REACTIVAS DE UNA RED DE ADAPTACION CONECTADA ENTRE UNA FUENTE R.F. Y UN PROCESADOR DE PLAMA R.F.

UN CAMPO R.F. ES PROPORCIONADO POR UN ELEMENTO DE IMPEDANCIA REACTIVA A UN PLASMA EN UNA CAMARA DE PROCESAMIENTO DE PLASMA EN VACIO.

EL ELEMENTO Y LA FUENTE ESTAN CONECTADOS MEDIANTE UNA RED DE ADAPTACION, QUE INCLUYE UNA PRIMERA Y SEGUNDA REACTANCIAS VARIABLES QUE CONTROLAN LA CARGA DE LA FUENTE Y LA SINTONIZACION DE UNA CARGA, INCLUIDO EL ELEMENTO DE IMPEDANCIA REACTIVA Y EL PLASMA, A LA FUENTE. LOS VALORES DE LA PRIMERA Y SEGUNDA REACTANCIAS VARIABLES SON MODIFICADOS PARA DETERMINAR EN QUE MEDIDA VA A CAMBIAR LA PRIMERA REACTANCIA VARIABLE PARA CADA CAMBIO DE UNIDAD DE LA SEGUNDA REACTANCIA VARIABLE, CON EL FIN DE CONSEGUIR LA MEJOR ADAPTACION ENTRE LAS IMPEDANCIAS QUE SE OBSERVA QUE ESTAN ORIENTADAS HACIA DENTRO Y HACIA FUERA DE LOS TERMINALES DE SALIDA DE LA FUENTE DE R.F.. A CONTINUACION, LOS VALORES DE LA PRIMERA Y SEGUNDA REACTANCIAS VARIABLES SON MODIFICADOS SIMULTANEAMENTE, TOMANDO COMO BASE LA DETERMINACION, HASTA CONSEGUIRSE LA MEJOR ADAPTACION DE IMPEDANCIAS ENTRE LAS IMPEDANCIAS QUE SE OBSERVA QUE ESTAN ORIENTADAS HACIA DENTRO Y HACIA FUERA DE LOS TERMINALES DE SALIDA DE LA FUENTE DE R.F.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: LAM RESEARCH CORPORATION.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 4650 CUSHING PARKWAY,FREMONT, CA 94538-6470.

Inventor/es: RICHARDSON, BRETT, NGO, TUAN, BARNES, MICHAEL, S.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 23 de Mayo de 1997.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • H01J37/32 ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
  • H03H7/40 H […] › H03 CIRCUITOS ELECTRONICOS BASICOS.H03H REDES DE IMPEDANCIA, p. ej. CIRCUITOS RESONANTES; RESONADORES (medidas, ensayos G01R; disposiciones para producir una reverberación sonora o un eco G10K 15/08; redes de impedancia o resonadores que se componen de impedancias distribuidas, p. ej. del tipo guía de ondas, H01P; control de la amplificación, p. ej. control del ancho de banda de los amplificadores, H03G; sintonización de circuitos resonantes, p. ej. sintonización de circuitos resonantes acoplados, H03J; redes para modificar las características de frecuencia de sistemas de comunicación H04B). › H03H 7/00 Redes de varios accesos que tienen como componentes únicamente elementos eléctricos pasivos (circuitos de entrada de receptores H04B 1/18; redes que simulan un trozo de cable de comunicación H04B 3/40). › Adaptación automática de la impedancia de la carga a la impedancia de la fuente.

Países PCT: Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Países Bajos, Irlanda, Oficina Europea de Patentes.

METODO Y APARATO PARA CONTROLAR IMPEDANCIAS REACTIVAS DE UNA RED DE ADAPTACION CONECTADA ENTRE UNA FUENTE R.F. Y UN PROCESADOR DE PLAMA R.F.

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